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石墨烯化学气相沉积制备方法
CVD 法制备石墨烯,主要是利用碳源在一定温度或外场下发生化学分解并在基底表面沉积来实现。CVD 反应系统主要由三部分构成:气体输送系统,反应腔体和排气系统。CVD反应过程主要由升温、基底热处理、石墨烯生长和冷却四部分构成。气体输入系统一般由气体流量计控制,反应腔是碳源前驱体发生化学反应并在反应基底沉积得到石墨烯的区域,排气系统用于将反应后的气体排出。其中碳源前驱体可以是气态烃类(如甲烷、乙烯、乙炔等),液态碳源(如乙醇、苯、甲苯等),或固态碳源(如聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、无定形碳等)。反应基底一般分为两大类:铜、镍、铂等金属基底和氧化硅、氮化硅、玻璃等非金属基底。外界条件控制主要包括温度、压强、气体的流速和种类、等离子化、加热方式等。
北京大学 2021-04-11
电泳沉积法制备磁性活性炭
提供一种通过直流电泳沉积法制备磁性活性炭的方法:利用铁盐溶胶中含铁胶粒带正电荷的性质,在外加脉冲电场作用下使铁胶体颗粒定向电泳至固定于阴极附近的活性炭微孔洞中;然后通过在碱溶液中浸渍发生原位共沉淀反应得到磁性活性炭。本技术方法可实现强磁性磁性活性炭的绿色高效制备,与已有方法相比,磁性活性炭中磁性物含量高,磁性强,同时工艺简单,成本较低,经改造后适于工业生产。
安徽理工大学 2021-04-13
一种薄膜在线激光测厚系统及方法
本发明属于非接触式在线测厚领域,并具体公开了一种薄膜在 线激光测厚系统及方法,包括大理石框架和设于大理石框架内部的 C 形架,大理石框架内顶部及底部设置有钢片和导轨;C 形架具有上梁 和下梁,上、下梁之间放置待测薄膜,上梁上下端部设置第一、第二 激光位移传感器,第一、第二激光位移传感器分别用于测量各自发射 点到钢片及待测薄膜上表面的距离,下梁上下端部设置第三激光位移 传感器和滑块,第三激光位移传感器用于测量待测薄膜下
华中科技大学 2021-04-14
薄膜太阳能电池材料光谱响应测量系统
产品详细介绍■ 光谱测量范围:200-1100nm■ 测量重复性:≤3%(主要波长位置)■ 光源:高稳定、高输出能量氙灯光源■ 标准探测器经国家一级计量单位定标■ 标准探测器、待测探测器自动切换■ 光谱响应度曲线自动生成■ 样品室内包含标准样品架、固体样品架和液体电解池样品架■ 被测太阳光伏器件可为无机晶体、有机样品,可固体,也可固体,可加偏执电压等
北京卓立汉光仪器有限公司 2021-08-23
电脉冲沉积铝化物合金涂层技术
研制一种振动式电脉冲沉积装置,可以在空气中直接在金属及合金表面沉积厚度达100mm的铝化物微晶涂层。涂层表面光滑,具有微晶结构,涂层与基体具有冶金结合。涂层具有优异的抗氧化、抗硫化性能和耐磨损性能。操作简便,既可以手工操作,也可以实现机械化涂覆。在Cr5Mo、Cr9Mo及不锈钢表面沉积了厚度达100mm的铝化物微晶涂层,具有优异的抗氧化、抗硫化性能和耐磨损性能。可获得厚度达100mm的铝化物微晶涂层,具有优异的抗氧化、抗硫化性能和耐磨损性能。可以在空气中直接涂覆。
北京科技大学 2021-04-11
柔性透明导电薄膜
中试阶段/n透明导电薄膜是平台式材料,是光电产业上游重要产品。柔性透明导电薄膜可以用于大尺寸柔性触控,柔性显示与照明、薄膜太阳能电池,可穿戴设备等战略性新兴柔性光电子产业,解决陶瓷基透明电极面临主要成分的资源短缺和固有的脆性等不利因素,在相关领域取代ITO薄膜及金属网格。本项目开发从材料到薄膜加工工艺的全链条技术,开发一系列面向不同光电器件需求的产品。目前,团队通过第三方机构认证的样品透过率导电性耐弯折特性处于国际先进水平。目前,正在进行小试阶段的研发工作,高纯原料和部分装备可国产化。
华中科技大学 2021-01-12
薄膜加工技术
研究团队在薄膜研究方面,前期工作主要集中在:1)高性能透明导电薄膜 研发。所制备的液晶光学窗口元件实现可见区平均透过率大于 90%,明视觉反射 率分别为:8 度 0.24%,15 度 0.21%,30 度 0.27%;方块电阻低于 13 欧姆,理论 电磁屏蔽能力优于 24dB,经用户确认,性能指标处于国内领先,达到国际先进 水平。填补了高性能透明导电薄膜研发的空白,打破了西方国家在该领域的技术 垄断。该研究工作为透明导电薄膜关键元件在国防军工产品的装备应用提供理论 依据和技术支撑。2)1064 带通
上海理工大学 2021-01-12
多元氧化物纳米薄膜及薄膜晶体管
北京工业大学 2021-04-14
一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置,该输出装置由装载前驱体的钢瓶(101),缓存腔(103),连接所述钢瓶(101)与缓存腔(103)的第一开关阀(102),位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞(104),以及控制输出主管路的第二开关阀(105)构成。本发明通过固定空间的气体体积变化,每次稳定的排出等量前驱体,保证定量输出前驱体,能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。
华中科技大学 2021-04-14
湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液及其制备方法
一种湿法刻蚀镍酸镧薄膜和铁电薄膜/镍酸镧复合薄膜的腐蚀液,由双氧水、硝酸、氢氟酸和纯净水配制而成,纯净水、双氧水、硝酸、氢氟酸的体积比为:纯净水∶双氧水∶硝酸∶氢氟酸=1∶2~3∶0.5~1.0∶0.06~0.12。所述腐蚀液的制备方法,按上述配方在常温、常压下将计量好的纯净水与双氧水混合均匀,然后加入计量好的硝酸并混合均匀,继后加入计量好的氢氟酸并混合均匀。所述腐蚀液可干净、彻底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO复合薄膜,得到边缘清晰、侧蚀比小的刻蚀图形。
四川大学 2021-04-11
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