一种薄膜在线激光测厚系统及方法

电子信息

本发明属于非接触式在线测厚领域，并具体公开了一种薄膜在

线激光测厚系统及方法，包括大理石框架和设于大理石框架内部的 C

形架，大理石框架内顶部及底部设置有钢片和导轨；C 形架具有上梁

和下梁，上、下梁之间放置待测薄膜，上梁上下端部设置第一、第二

激光位移传感器，第一、第二激光位移传感器分别用于测量各自发射

点到钢片及待测薄膜上表面的距离，下梁上下端部设置第三激光位移

传感器和滑块，第三激光位移传感器用于测量待测薄膜下

未应用