用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一、项目分类
显著效益成果转化
二、成果简介
现有物理气相沉积(PVD)制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源,生产过程中,薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜,按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材,这显然是无法实现的。同时,采用合金靶材制备某些多元薄膜时,需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源,这类特殊靶材以现有技术难以制造。
为此,本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法,利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学
2022-08-12