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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
高凝胶稳定型聚合乳清蛋白增稠剂在乳制品中的应用及产业化
乳清蛋白来源于干酪生产过程中的副产品乳清,以其为原料,经水化、热改性等工艺制备聚合乳清蛋白,应用主要为脂肪替代物、酸奶增稠剂以及微胶囊壁材。 自主研发规模聚合反应器,设备操作简单、自动循环、省时省力。 聚合乳清蛋白作为乳源性增稠剂制备中国式希腊酸奶,提高酸奶质地、黏度,使结构更加致密。生产工艺操作简单,提高产率,增加蛋白质的含量,降低其他生产用增稠剂的用量,降低成本,减少传统工艺中酸性乳清排放造成的环境污染。 1500L聚合乳清蛋白反应装置 高凝胶聚合乳清蛋白清洁标签发酵乳生产 高凝胶稳定型聚合乳清蛋白清洁标签酸乳
东北农业大学 2021-05-10
我国外汇储备规模保持稳定 连续10个月在3.2万亿美元之上
截至2022年2月末,我国外汇储备规模为32138亿美元,较1月末下降78亿美元,降幅为0.24%,连续10个月保持在3.2万亿美元之上,我国外汇储备规模保持了整体稳定。
人民网 2022-03-09
大型沉管隧道水下基槽浚边坡稳定性、承载力和变形分析
1.依据海河实际土质条件,提出了基槽水下开挖下部和上部坡率建议值;2.提出了适合滨海软土地层特性的水下开挖法及合理的超挖值;3.提出了适合海河沉管隧道的水下边坡检测要求和减少基底回淤的施工措施;4.通过应力路径试验方法,进行模拟基坑开挖时主动区侧向卸荷试验(DEP)和固结试验,得到主动区卸荷状态下土的强度参数;5.编制了天津市地方标准《内河沉管法隧道设计、施工及验收规范》DB/T29-219-2013。  在海河下游软土地层环境下,针对内河沉管沉放过程中存在的技术难题,形成了对沉
天津城建大学 2021-01-12
一种金属软磁复合材料的高热稳定性绝缘包覆处理方法
本发明公开了一种金属软磁复合材料的高热稳定性绝缘包覆处理方法。它包括如下步骤:1)将金属磁粉过筛进行粒度配比;2)利用溶胶凝胶法对配好的金属磁粉进行绝缘包覆后干燥;3)将干燥后的磁粉与粘结剂混合均匀,加入脱模剂干压成型,将其压制成磁环;4)将磁环于保护气氛中保温0.5~2h,空冷,喷涂,得到目标产物。本发明采用溶胶凝胶法制备的复合粉末包覆均匀、致密,包覆层厚度可控,具有高的热稳定性、高的电阻率以及高的饱和磁化强度,具有优良的磁性能和力学性能;采用溶胶凝胶法在金属磁粉表面均匀包覆一层Al2O3绝缘层,包覆效果优于现有方法,且可操作性强,便于批量生产;大幅降低软磁复合材料的磁芯损耗。
浙江大学 2021-04-11
金属卤化物钙钛矿导锂层的构建并用于稳定锂金属电池的研究
姚宏斌课题组充分利用氯基金属卤化物钙钛矿宽带隙、成膜性好、制备简单等优势,开发出基于金属卤化物钙钛矿的梯度导锂层,实现了金属锂负极与电解液的隔离,大幅度提升了锂金属电池的循环稳定性。作为一种新型可溶液加工的离子型半导体材料,金属卤化物钙钛矿成为近年来光电研究领域的热点材料。然而,金属卤化物钙钛矿材料框架内的锂离子传导特性以及相关应用却少有研究。研究人员发现,利用旋涂法制备的金属氯基钙钛矿具有容纳和传输锂离子的特性。研究人员发展了方便的固相转印方法,避免了锂枝晶生长和锂金属电极的粉化。测试表明,在金属卤化物钙钛矿导锂层的保护下,锂电池的稳定性显著提升。
中国科学技术大学 2021-04-11
一种分析深部软弱围岩锚固体内外碎胀程度及稳定性的装置
本发明涉及一种分析深部软弱围岩锚固体内外碎胀程度及稳定性的装置。可较为准确分析深部软弱围岩碎胀程度并对其稳定性进行及时判别。该装置主要包括固定在锚固端及原岩处的位移计,固定在巷道中数据分析仪。数据分析仪主要包括数据记录器、数据处理器以及数据显示器;数据记录器可以记录1000次位移计测得的锚固体内外碎胀位移;数据处理器对锚固体内外碎胀位移随时间演化进行分析处理并依式回归得出反映围岩碎胀位移速度减缓程度系数k2;数据显示器显示锚固体内外围岩碎胀位移及速度随时间演化曲线,围岩碎胀位移速度减缓程度系数k2值
安徽建筑大学 2021-01-12
一种高稳定性蛋白质-壳聚糖复凝聚交联微胶囊及其制备方法
本发明提供了一种高稳定性蛋白质‑壳聚糖复凝聚交联微胶囊及其制备方法,首先将芯材与不含还原糖的或含有还原糖的蛋白质溶液混合,高速分散形成O/W型乳状液,再加入壳聚糖溶液,调节pH,让蛋白质与壳聚糖通过静电相互作用发生复凝聚反应,形成复凝聚相沉降在芯材乳滴周围而得到微胶囊,离心收集微胶囊,加热,使蛋白质‑壳聚糖、蛋白质‑壳聚糖‑还原糖两两之间发生美拉德反应引发交联而提高微胶囊的稳定性。本发明简单易行、安全、高效,适于大规模生产;本发明可广泛用于具有良好热稳定性芯材的包埋,对于开发高稳定性的蛋白质‑壳聚糖复凝聚微胶囊体系和推进复凝聚微囊化技术在食品工业中的实际应用具有重要意义。
青岛农业大学 2021-04-13
一种多馈入交直流混合电力系统的电压稳定性评估方法
本发明公开了一种多馈入交直流混合电力系统的电压稳定性评 估方法,基于计及并联电容器补偿的多馈入有效短路比,采用无功折 算因子描述交流系统中并联电容器补偿点对直流系统的电压影响程 度,并采用折算的方法获取交流系统中各补偿点接入的并联电容器对 直流系统的无功影响量,将系统中所有并联电容器补偿点对直流系统 的无功影响量累加,获取全系统并联补偿对直流系统电压稳定性的不 利影响;根据全系统无功影响量获取有效短路比,进一步获取计入并 联电容器补偿的影响,根据有效短路比评估电力系统的稳定性;相比 现有基于多馈入有
华中科技大学 2021-04-14
一种稳定性高的蛋白质‑壳聚糖复凝聚交联微胶囊及其制备方法
本发明提供了一种稳定性高的蛋白质‑壳聚糖复凝聚交联微胶囊及其制备方法,首先将芯材与蛋白质溶液混合,高速分散形成O/W型乳状液,再加入壳聚糖溶液,调节pH,让蛋白质与壳聚糖通过静电相互作用发生复凝聚反应,形成复凝聚相沉降在芯材乳滴周围而得到微胶囊,离心收集微胶囊,冷冻干燥得到微胶囊粉末再与还原糖混合均匀,此时壳聚糖将蛋白质与还原糖从空间上隔开,加热使壳聚糖分别与蛋白质和还原糖发生美拉德反应引发交联而提高微胶囊的稳定性。本发明简单易行、安全、高效,适于大规模生产;可广泛用于具有良好热稳定性芯材的包埋。本发明对于开发稳定性高的蛋白质‑壳聚糖复凝聚交联微胶囊体系和推进复凝聚微囊化技术在食品工业中的实际应用具有重要意义。
青岛农业大学 2021-04-11
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