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一种铌酸锂纳米器件的刻蚀方法
本发明属于光电器件制备技术领域,具体为一种铌酸锂材料的刻蚀方法。本发明方法包括:在铌酸锂表面制备金属钝化层,用来提高纳米图形的保形性以及侧壁刻蚀倾斜角;沉积硬掩膜,并采用微电子光刻技术进行图形化处理;在待刻蚀的铌酸锂区域沉积活性金属薄膜,以提高刻蚀深度;将覆盖有活性金属层的铌酸锂晶体在还原气氛中进行退火;然后采用相应的酸溶液和碱溶液去掉铌酸锂表面的金属及其与铌酸锂的反应物,得到具有一定刻蚀深度的铌酸锂纳米图形。所制备的大规模铌酸锂纳米器件阵列尺寸可控,保形性和重复性好,侧壁倾斜角大于80°,图形凸块表面光滑。铌酸锂纳米器件制备步骤简单,难度低,可降低大规模生产成本。
复旦大学 2021-01-12
纳米粉体表面修饰改性、分散及应用研究
随着纳米颗粒制备技术的日渐成熟,其应用技术也日益受到人们的广泛重视。但由于纳米颗粒粒径小、比表面积和表面能大、颗粒不稳定极易团聚,导致其优异的性能不能充分发挥,因此纳米技术研究中最艰巨的任务之一是使纳米颗粒能够稳定存在且不发生团聚。最常使用的方法是把纳米颗粒分散于介质中,通过静电稳定机理、位阻稳定机理和静电位阻稳定机理等来制备稳定分散的浆料。其中涉及到的核心科学问题为纳米颗粒的表面改性及其浆料稳定性。 项目组根据不同纳米材料表面特性以及应用场合不同,攻克了纳米粉体表面化学改性技术、纳米粉体在溶液中稳定分散技术等关键技术,制得了纳米四氧化三铁、二氧化钛、氧化铟锡、氧化锌、氧化镁、氮化硅、碳化硅等多种分散稳定性优异的水基、乙醇基浆料,其颗粒平均粒径≤100nm,比表面积≥30m2/g,固含量从0.5~20%不等。不同纳米粉体含量浆料静置稳定性从1~30d至1年不等,研究成果为纳米材料的应用奠定了坚实的基础。 应用前景: 纳米四氧化三铁浆料是采用胶溶化法和添加改性剂及分散剂方法,通过在颗粒表面形成吸附双电层结构阻止纳米粒子团聚来制得。平均粒径在20nm左右,具有超顺磁性,浆料Fe3O4固含量在0.5~20%,浆料静置稳定性在1年左右。可应用在磁性密封、生物医药载体、磁保健、磁记录材料、高梯度磁分离器、微波吸收材料以及静电复印显影剂。 纳米二氧化钛浆料作为产品或产品添加剂应用范围很广,主要可应用于抗紫外剂,纳米环保、抗菌、自清洁剂,随角异色效应型纳米涂料,静电屏蔽剂等。 纳米ITO水基浆料加入水性涂料中,经涂敷制得ITO薄膜。由于ITO薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达70%以上,对红外光的反射率≥70%,对紫外线的吸收率≥70%,对微波的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,可用作防隔热涂料等。
南京工业大学 2021-01-12
基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器
本发明涉及一种基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器,包括上层的纳米二聚体阵列和下层的衬底,衬底平面为xy轴平面,x轴垂直于y轴,两个结构材质完全相同的半导体圆柱体纳米结构间隔固定距离排列构成纳米二聚体,纳米二聚体中两个圆柱体中心连线方向为二聚体轴方向,即x轴方向;衬底平面上的纳米二聚体阵列为沿x轴、y轴周期排列的纳米二聚体阵列。
上海理工大学 2021-04-10
江苏超芯星半导体有限公司研发碳化硅单晶生长技术
公司主营业务为第三代化合物半导体材料,当前产品为 6 寸碳化硅晶体、衬底,未来可拓展至设备和外延技术领先。公司创始人在碳化硅行业有15年以上经验,曾任国际知名碳化硅衬底企业Norstel高级研发工程师,回国后任世纪金光研发副总,获得北京市特聘专家等荣誉,担任国家01专项6寸碳化硅衬底项目负责人,研发出6寸衬底,具备丰富的长晶和设备经验,是国内为数不多的几个掌握碳化硅技术的人员之一。碳化硅半导体材料行业前景广阔,国内碳化硅材料处于起步阶段,落后于国外,能量产的企业很少,6寸衬底都还没实现量产,有技术的新企业仍然有机会。公司团队技术领先,研发出6寸衬底,创始人在行业内知名度高,行业人脉丰富,下游多家器件厂商愿意采购产品形成战略合作,具备量产6寸衬底能力。点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接!
四川大学 2021-04-10
超小流量二氧化碳离心压缩机关键技术
西安交大流体机械及压缩机国家工程研究中心与赛尔机泵成套设备有限公司合作,经过近20年连续不断的科研攻关研制成功年产33万吨尿素装置离心二氧化碳压缩机设计制造全套技术(设计工况流量为16700Nm3/h),该压缩机是国内首台同类尿素装置中具有完全自主知识产权二氧化碳压缩机成套机组,目前已工业运行3年,取得了显著的经济效益。
西安交通大学 2021-04-11
一种基于稀疏的微小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法
本发明属于稀疏超分辨检测领域,并公开了一种基于稀疏的微 小缺陷高频超声显微成像超分辨的方法。该方法包括如下步骤:执行 过采样高频超声显微 C-扫成像;根据过采样时的采样步长与超声探头 分辨率,计算出探头点扩散函数 k;由点扩散函数根据进行稀疏超分 辨计算,获得最终高分辨图像。本发明方法实现了高频显微成像对现 微小缺陷进行超分辨显微成像,增强图像信噪比和分辨率,提高微小缺陷检测的准确性,同时对于微观缺陷的检测有着重要的意义,有效 地推动微器件可靠性的发展。
华中科技大学 2021-04-14
调谐型电磁超材料关键技术及在射频识别系统中的应用
本项目突破了电磁超材料存在的不可调谐、带宽窄、设计可靠性低等关键技术,开发出可调谐型射频微波电磁材料结构设计、电磁特性仿真与控制、材料制造与性能测试等工艺与方法,研制出系列射频/微波频段调谐型电磁超材料、基于超材料的射频滤波器/双工器/三工器/天线、超高频射频识别标签/读写器等产品,进行了规模化示范应用与验证,其性能指标达到市场同类产品国内领先水平;获得授权发明专利32项、实用新型专利27项,发表论文150余篇(其中SCI论文60余篇)。
电子科技大学 2021-04-14
基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器和制备方法
本发明公开了一种基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器,包括自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极;其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列,金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数,每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性,通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段,通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中
华中科技大学 2021-04-14
基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器和制备方法
本发明公开了一种基于超材料的肖特基型远红外多谱信号探测器,包括自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极;其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列,金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数,每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性,通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段,通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料层中
华中科技大学 2021-04-14
一种高速铁路无砟轨道结构修补用超早强注浆材料
本发明公开了一种高速铁路无砟轨道结构修补用超早强注浆材料,依次加入水、聚合物乳液、减水剂、流变助剂、消泡剂;再加入掺合料、水泥、膨胀剂、促凝剂、缓凝剂经高速搅拌混合而成。组分重量份为:超细水泥:100份,掺合料:50~150份,可再分散乳胶粉25~50份,聚合物乳液3~10份,膨胀剂:5~25份,羧酸减水剂:0.1~1.0份,促凝剂:0.1~10份,缓凝剂:0.1~5份,流变助剂:0.001~0.005份,聚醚-硅氧烷共聚物消泡剂:0.001份,水:20~70份。本发明材料具有低粘度、超早强、低成本、耐疲劳、耐老化、耐水侵蚀等优点,可用于高速铁路无砟轨道混凝土裂缝、水泥沥青砂浆充填层离缝、裂缝及伤损的修补。
西南交通大学 2016-10-20
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