一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置
本发明公开了一种倒装键合设备中用于各向异性导电胶的热压装置,用于倒装键合设备中对导电胶进行热压,其特征在于,该热压装置包括:压头组件(2),用于对导向胶进行热压;导向组件(1),其设置在一支撑基座(4)上,所述压头组件(2)设置在该导向组件(1)上,所述压头组件(2)通过该导向组件(1)进行导向移动以完成热压;驱动组件(5),其设置在所述导向组件(1)一侧,用于驱动所述导向组件(1)直线移动,以实现其对压头组件(2)的导向移动。本发明的装置能够方便的实现热压工艺中的热压过程,并且具备压力稳定性和精度
华中科技大学
2021-04-14