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一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面，对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱；采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型，计算其理论反射光谱；采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法，通过理论反射光谱拟合测量反射光谱，快速提取沟槽的宽度和深度，实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光源，红外偏振片，干涉仪，平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态
华中科技大学
2021-04-14
一种大量程范围的折射率测量装置及方法
本发明公开了一种折射率测量装置，包括：单色角点光源照明 模块，用于产生进行测量的两束光束；参考光路模块，其中一束作为 参考光入射到该参考光路模块中，经全反射后出射带有原始光场信息 的参考信息光；探测模块，其与待测物接触形成介质面，另一束光束 作为探测光入射到探测模块并经介质面反射后出射耦合有待测物质折 射率信息的探测信息光；反射光能量收集模块，分别接收参考信息光 和探测信息光，并转换为电信号；以及图像处理模块，其对两
华中科技大学
2021-04-14
一种用于可调桨叶片的激光测量装置、系统及方法
本发明公开了一种可调桨叶片激光测量装置，包括底座、旋转台、激光位移传感器、横向移动机构和纵向移动机构；底座，用于支撑测量装置其它部件；旋转台，安装于底座上，用于放置和旋转待测可调桨叶片；横向移动机构，用于在水平方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置；纵向移动机构，用于在竖直方向上调节激光位移传感器相对可调桨叶片上测点的位置；激光位移传感器，用于采集可调桨叶片上测点与激光位移传感器之间的距离。本发明提供了一种可调桨叶片激光测量系统及方法。本发明采用激光三角测量原理获取测点的空间坐标，实现可
华中科技大学
2021-04-14
一种纳米结构三维形貌测量方法及装置
本发明公开了一种纳米结构三维形貌测量方法及其装置，可以同时测量纳米结构线宽、深度、侧墙角、线缘粗糙度、线宽粗糙度等三维形貌参数的方法及装置。本发明方法步骤如下：将波长为紫外到近红外波段的光束经分光、起偏、前后相位补偿得到的椭圆偏振光投射到待测；采集待测结构表面反射零级衍射信号，计算得到纳米结构测量穆勒矩阵；将测量穆勒矩阵与理论穆勒矩阵进行匹配，提取得到待测纳米尺寸结构的三维形貌参数值。本发明所提供的纳米结构三维形貌参数测量装置，能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维
华中科技大学
2021-04-14
一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪
本发明提供了一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪，包括悬丝、探针支架，扫描探针，多自由度微位移平移台，角度传感器，控制系统和反馈执行机；扫描探针设置在探针支架的任意一个端面上；悬丝悬挂探针支架构成扭摆；工作时，待测样品设置在多自由度微位移平移台上，待测样品的待测表面正对且平行于扫描探针的端面；扫描探针的端面与待测表面不接触；当扫描探针与待测样品之间存在相互作用时，角度传感器将检测的扭摆的扭转信息传给控制系统；进行 PID 运算后获得的反馈控制电压传给反馈执行机，产生一个与外力矩等大的反馈控制力矩
华中科技大学
2021-04-14
低阻测量
"专业测量低阻的发明仪器：可测最低阻值0.000001Ω；在实际应用中，还可测0.000001V的交流电压和0.000001A的交流电流。 "
厦门大学
2021-04-10
阻尼测量系统
基于 LabVIEW 图形编程语言的阻尼测量系统是利用所接收的速度振动信号和激励 信号互相关获得试件的速度冲击响应，再变换到频域得到速度频响函数。 本系统可通过一次测量得到频率范围内各阶共振峰和半功率带宽，程序可自动节选 共振峰并计算阻尼损耗因子。相较传统测量精度高，速度快，且具有良好的开放性。
同济大学
2021-04-13
骨盆测量模型
XM-F22骨盆测量模拟人
功能特点：
■ XM-F22骨盆测量模型（骨盆测量模拟人）为成年女性整体人，解剖标志明显，便于操作定位。
■ 采用高分子材料制成，仿真度高。
■ 关节灵活，满足骨盆测量时的各种体位。
■ 下腹部设有透明视窗，观察骨盆内测量操作全过程。
■ 可进行骨盆内测量与外测量训练。
上海欣曼科教设备有限公司
2021-08-23
温室大棚远程遥控全自动放风系统
温室大棚的对通风和温度控制精细化程度要求高，风口控制操 作频繁，风口控制对产量影响巨大，本产品预设控制参数之后可根据环境数据 全自动工作，风口开关频次高、最大限度的保持温室大棚内部的温度稳定，内 置三种温控算法（简单算法、分段算法、智能算法），最大限度的满足不同人 群对产品的需求，本产品创新性的把放风机接入互联网，让农民远程可以监测 温室大棚的数据，远程控制放风机的工作进而精准控制温室大棚风口的大小。 当风口或者温度异常发生时，放风机及时推送警报到互联网，从而第一时间提 醒农民进行处理。本平台对农业生产现场数据进行持久留存，提供曲线、图表 分析，利用大数据分析为农民提供生产指导，建立生产数据农民社交沟通平台。
青岛农业大学
2021-04-11
PLC远程程序监控与数据监控系统
PLC远程程序监控与数据监控系统实现了对PLC设备的远程程序修改与升级维护，以及对PLC设备运行状态的实时监测以及远程指令控制。整个系统由远程发射器（自主开发）和监控软件两部分组成，远程发射器可支持三种网络连接模式：以太网、WIFI和GPRS（2G/3G）。其中，以太网方式适用于具有网络端口的环境；WIFI方式适用于具有无线网络的工业现场；GPRS方式则适用于无以太网环境下的设备连接，但网速受限。监控软件支持C/S和B/S两种工作模式，其客户端为用户提供数据监控与分析、程序升级、客户信息查询、设备位置管理等功能。一旦设备出现故障，维修人员通过及时对PLC设备进行远程数据和程序监控，就能帮助客户排除故障，从而减少售后服务时间，也提高了设备利用率。
东南大学
2021-04-13