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用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法
一、项目分类
显著效益成果转化
二、成果简介
现有物理气相沉积（PVD）制备多元薄膜材料采用合金靶材作为靶源，生产过程中，薄膜成分的调控范围受安装的合金靶材的成分比例的限制。如果预期获得纳微复杂结构的复合薄膜，按照常规技术路线需要上百块成分连续变化的合金靶材，这显然是无法实现的。同时，采用合金靶材制备某些多元薄膜时，需要特高纯度的或极端成分比例的靶材作为靶源，这类特殊靶材以现有技术难以制造。
为此，本发明研发出一种用于预测多元拼合靶材制备的薄膜成分的预测方法，利用本发明技术有助于新材料的研发和促进半导体器件、切削刀具涂层等高新技术的发展。
武汉理工大学
2022-08-12
一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法
本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法，其包 括的成分及该成分的原子百分比含量分别为：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制备方法包含 S1 制备单一合金靶材；S2 选择衬底材料， 将衬底表面进行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 进行磁控溅射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
华中科技大学
2021-04-14
一种多层薄膜微结构自对准制备方法及装置
本发明公开一种多层薄膜微结构自对准制备方法，通过分隔板 将喷头内腔体纵向分为至少两个腔室，在各腔室内注入不相溶的高分 子溶液，并汇聚于喷头的喷嘴处；施加高压静电场，同时驱使接收板 做平面直线运动，在高压静电场作用下喷嘴处的溶液变形成泰勒锥， 从泰勒锥尖端拉出射流，射流中的多种高分子材料先后沿着接收板运 动的方向进行静电纺丝，形成多层薄膜微结构。本发明还公开一种实 现上述方法的装置，分隔板纵向设于喷嘴内，将喷嘴内腔体分隔为至 少左右两个腔室；在喷嘴端部设有端部盖板，端部盖板与喷嘴端部之 间设有密封片；
华中科技大学
2021-04-14
一种有机-无机复合电致变色薄膜及其制备方法
本发明公开了一种有机-无机复合电致变色薄膜及其制备方法。该薄膜为聚苯胺与三氧化钨的复合薄膜，其中含有5～80％质量分数的三氧化钨，薄膜厚度为50～300nm，表面具有纳米棒阵列形貌。该制备方法包括：将表面经羟基化处理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直竖立并固定于反应容器中，将过氧化钨酸溶液与苯胺溶液的混合溶液倒入其中并搅拌；再加入过硫酸铵溶液，搅拌下进行反应；反应完成后，取出沉积有薄膜的基底并冲洗、干燥而得。本发明制备方法实现了聚苯胺/氧化物在分子层次复合，工艺简单，成分可方便控制，成本较低，易于实现工业化。制得的薄膜光谱调节范围大、颜色丰富、响应速度快、循环寿命长，应用范围广泛。
浙江大学
2021-04-13
一种双波段薄膜光探测器及其制备方法
本发明属于微纳制造与光电子器件领域，并公开了一种双波段 薄膜光探测器，包括基底薄片、第一电极层、第一 WSe2 层、石墨烯 层、第一 MoS2 层、第二电极层、介质层、第二 WSe2 层、第三电极 层、第二 MoS2 层和第四电极层,第一电极层设置在基底薄片上;第一 WSe2 层铺设在基底薄片和第一电极层上;石墨烯层设置在第一 WSe2 层上;
华中科技大学
2021-04-14
一种基于电磁感应透明的红外超增强收集天线
本发明提供了一种基于电磁感应透明的红外超增强收集天线， 包括多个周期性阵列排布的天线单元，所述天线单元包括第一谐振单 元和第二谐振单元；所述第一谐振单元的谐振频率与所述第二谐振单 元的谐振频率相同或相近；通过所述第一谐振单元与所述第二谐振单 元之间的耦合作用实现了在红外波段的电磁感应透明现象，提高了对 目标频率红外辐射的收集效率。本发明提供的电磁感应透明红外超增 强收集天线能使入射的偏振光能量重新分布，将能量转移至与
华中科技大学
2021-04-14
防止电灯泡、灯管破碎的透明、可电磁屏蔽的弹性塑料涂层
传统的电灯泡和日光灯管或节能灯管由玻璃制造，且没有保护层，所以属于易碎物。其破碎的后果是伤人或汞蒸汽吸入人体或破坏环境。 此技术通过在电灯泡或灯管外面涂一薄层可屏蔽电磁波的透明弹性材料，不但可有效屏蔽电磁波，还可以防止电灯泡或灯管破碎。而且，即使产生了破碎，也不会破坏高强度的塑料涂层，故灯管中的汞也不会外泄到环境大气中，从而对环境和人体起到了有效的保护。
四川大学
2021-04-14
大气窗口区域高发射的透明隔热涂料及其制备方法
本发明公开了一种大气窗口区域高发射的透明隔热涂料，该透明隔热涂料的主料由以下重量份的成分组成：聚合物乳液30～70份、纳米掺杂氧化物粉10～30份、大气窗口区高发射的纳米粉体2～30份、阴离子型分散剂1～10份、非离子型分散剂2～20份、消泡剂0.5～2份、增稠剂0～5份、成膜助剂1～2份、防冻剂1～2份、流平剂1～2份和蒸馏水5～20份。本发明还同时公开了上述透明隔热涂料的制备方法，包括将上述成分均匀搅拌后，用多功能助剂AMP-95调节pH至8.5～9.5，得大气窗口区域高发射的透明隔热涂料。该涂料在大气窗口区发射率较高，能实现有效散热。
浙江大学
2021-04-13
一种透明轻质仿玻聚合物材料及其制备方法
本申请公开了一种透明轻质仿玻聚合物材料及其制备方法，制备方法包括：取甲基丙烯酸甲酯、引发剂和交联剂，经过混合、搅拌、加热后得到第一预聚物；取多元醇、异氰酸酯，经过混合、搅拌、加热后得到第二预聚物；取第一预聚物、第二预聚物和邻接剂混合，然后加入催化剂并搅拌、冷却，随后经过升温、聚合反应、固化后得到透明轻质仿玻聚合物材料。本申请将具有多反应位点的邻接剂引入互穿网络结构中，形成了新型相邻键合结构的互穿网络结构，可以显著提升PU和PMMA两相之间的相容性，降低相畴尺寸，提高透明度；还可以提高互穿网络结构的交联密度，从而提高材料的耐热性、刚性和表面抗划伤性。
南京工业大学
2021-01-12
一种连续导电模式单电感双输出开关变换器变频控制装置
本实用新型公开了一种连续导电模式单电感双输出开关变换器变频控制装置，通过限定电感电流峰值和谷值的大小，完成对变换器中主开关管和支路开关管的控制，实现各个输出支路的独立调节。与工作在连续导电模式的传统单电感双输出开关变换器相比，本实用新型具有稳定性好，可靠性高，抗干扰能力强，输入、负载瞬态响应速度快，输出支路间的交叉影响小等优点，可用于控制单电感双输出拓扑结构的多种变换器，诸如：Buck变换器、Boost变换器、Buck-boost变换器、Bipolar变换器等。
西南交通大学
2016-10-24