一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法

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本发明公开了一种防腐耐磨铁基非晶薄膜及其制备方法，其包

括的成分及该成分的原子百分比含量分别为：14.0～22.0at.％Cr，6.0～

16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余

量的 Fe。其制备方法包含 S1 制备单一合金靶材；S2 选择衬底材料，

将衬底表面进行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 进行磁控溅射，其

中，背景真空度值不高于 5x10<sup

未应用