本发明公开了一种基于双向填充的通孔互联结构制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀积绝缘层、阻挡层和种子层；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的绝缘层；（d）在第二表面上淀积绝缘层和阻挡层；（e）在第二表面的阻挡层上平铺贴合干膜并执行曝光显影；（f）以干膜作为掩膜，对绝缘层和阻挡层执行刻蚀处理仅保留下种子层；（g）执行填充操作。本发明中还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明，能够以便于操控、高效率的方式执行填充过程，并获得填充效

本实用新型公开了一种硅通孔结构，其形成于硅片上，并包括掺杂粒子构成的导电区和绝缘区，绝缘区与所述导电区掺杂的粒子的极性相反，所述导电区表面覆盖有金属电极，所述硅片的表面除所述金属电极之外的区域覆盖有绝缘层。本实用新型硅通孔结构的优点在于：通过粒子掺杂方式形成硅通孔结构的导电区和绝缘区，导电区和绝缘区的基体都还是硅片本身，避免了目前硅通孔技术中金属和硅片热膨胀系数不同造成的热应力问题，能够提高器件的可靠性和寿命。

本发明公开了一种通过自底向上填充实现通孔互联的方法，包括：（a）在基片的一个表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的基片表面上依次生长绝缘层、阻挡层和种子层；（c）向种子层表面上涂布光刻胶并填平盲孔，然后执行曝光及显影处理，以使光刻胶仅在盲孔底部的种子层表面上残留；（d）去除未覆盖光刻胶的种子层，而盲孔底部的种子层不受影响；（e）去除残留的光刻胶；（f）向盲孔中填充导电材料完成自底向上的生长；（g）减薄基片未加工盲孔的表面形成通孔，由此完成通孔互联过程。本发明还公开了相应的通孔互联结构产品。通过本发明

本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。

本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺，包括步骤：（1）在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ；（ 2 ） 镀 上 银 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 电 场 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀；（4）去除光刻胶；（5）去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度，由此形成从数十纳米至数

本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法，步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上；②减薄硅器件晶圆，再刻蚀硅器件晶圆，形成盲孔；③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯)；④刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁；在基板上形成介电质孔，使介电质孔和盲孔同轴；⑤在介电质孔上沉积一层导电材料，作为导电层，形成导电孔；⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层；⑦移除基板，在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；降低了寄生电容，提升了互连电性

本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法，步骤为：①在基板上刻蚀盲孔；②在基板上沉积一层图案化介电质层；③刻蚀图案化介电质层，刻蚀掉盲孔底部的介电材料，保留盲孔侧壁的介电材料，在基板上形成介电质孔；④在介电质孔上沉积一层导电材料，形成导电孔；⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层，填充导电孔；⑥刻蚀板背面，暴露出导电层，在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤，减少工艺时间并降低了费用；使用二层图案化介电质层，降低了寄生电容，提升了互连电性能，适用于高速和

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【项目来源】江苏省科技厅“络脉通对动脉粥样硬化的防治研究”， 编号：BS96054。江苏省中医药管理局项目“滋肾养肝，化痰消瘀法对动脉粥样硬化的防治研究”，编号：SZY 03。 【成果鉴定】经江苏省科技厅组织专家鉴定，达到国际先进、国内领先水平。2002年获江苏省科技进步三等奖，2003年获南京市科技进步三等奖。 【类    别】中药新药六（2）类。 【剂    型】胶囊剂。 【处方来源】南京中医药大学中医内科学资深专家临床有效经验方。根据中医理论和临床实践，倡导肝肾亏虚、痰瘀阻络是动脉粥样硬化的病机特点，提出病在血脉，根在脏腑，病理性质本虚标实，肝肾亏虚为本，阴虚多见，痰瘀阻络为标，痰浊为重。为此，确立滋肾养肝，化痰消瘀法，研制成络脉通胶囊。 【功能主治】滋肾养肝，化痰消瘀。主治动脉粥样硬化肝肾亏虚、痰瘀阻络证。 【主要技术指标】 1．临床研究：临床观察经二维彩色多普勒血流声像系统确诊为动脉粥样硬化，中医辨证为肝肾亏虚、痰瘀阻络证患者75例，随机分为治疗组（络脉通胶囊组）43例，对照组（绞股兰总甙片组）32例。参照中药新药治疗脑动脉粥样硬化症的临床研究指导原则，制定病名诊断、中医辨证、疗效评定等标准。临床观察结果表明，治疗组患者颈部动脉粥样硬化（AS）斑块消失率为53.85%，减退率为19.23%，无变化率为19.23%，总有效率为92.31%，对照组分别为3.57%，7.15%，53.57%，64.29%，两组相比P<0.01。颈动脉内中膜厚度的改变治疗组亦明显优于对照组（P<0.01）。提示络脉通胶囊对动脉粥样硬化具有良好的治疗作用。药物安全性观察无明显毒副反应。 2．实验研究：络脉通胶囊对实验性脂质代谢紊乱鹌鹑、大鼠的血脂均有良好的调节作用，并可明显降低实验性脂质代谢紊乱大鼠的肝脂质，降低实验性高脂鹌鹑的血浆内皮素（ET），升高血浆一氧化氮（NO）含量，升高实验性高脂大鼠的超氧化物歧化酶（SOD），降低过氧化物丙二醛（MDA）水平，改善实验性高脂大鼠不同切变率下的全血比粘度，病理组织学检查亦证实络脉通大、小剂量组大鼠主动脉病理变化均较模型组为轻，肝脏脂肪变性亦轻于模型组。血管平滑肌细胞培养结果表明，络脉通胶囊与SMC共同孵育48小时，当浓度达到0.5%以上，即可呈现对平滑肌细胞增殖的明显抑制作用。 【推广应用前景】动脉粥样硬化（AS）是诸多心脑血管病的病理基础，其发病率及死亡率均居各种疾病前列。临床和实验研究表明，络脉通胶囊具有良好的调节血脂、降低内源性损伤因子、抗氧化、改善微循环、明显抑制血管平滑肌细胞增殖等多环节综合效应，达到治疗动脉粥样硬化的作用，从而有效地控制和逆转病情，有较高的实用价值。本品药源丰富，无明显毒副作用，使用方便，开发成中药新药制剂，将有广阔的前景，可取得良好的经济和社会效益。 【进展情况】已完成临床前主要研究工作。