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一种硅通孔互连结构的制备方法
本发明公开了一种硅通孔互连结构的制备方法,步骤为①将键合硅器件晶圆键合于硅晶圆基板上;②减薄硅器件晶圆,再刻蚀硅器件晶圆,形成盲孔;③在硅器件晶圆上涂敷一层图案化介电材料(如聚对二甲苯);④刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁;在基板上形成介电质孔,使介电质孔和盲孔同轴;⑤在介电质孔上沉积一层导电材料,作为导电层,形成导电孔;⑥在导电层上再沉积一层图案化介电质层;⑦移除基板,在导电层上形成焊料微凸点。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;降低了寄生电容,提升了互连电性
华中科技大学 2021-04-14
一种重载精密减振器及其构成的减振系统
本发明属于精密减振技术领域,为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构;倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成,置于环形气腔内;主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力,通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递,通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置
华中科技大学 2021-04-14
激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置
本发明涉及一种激光焊接中狭窄对接焊缝的测量方法及装置,它将二维和三维视觉信息进行有机融合,通过对 CCD 相机和二个激光平面进行标定,利用含有三条激光条纹的焊缝图像,在同一测量位置获取焊缝中心的三维位置、法矢及焊缝宽度信息。装置包括:远心镜头、CCD 相机、图像采集卡、带通滤光片、计算机,各线光源激光器投射出会聚的三个激光平面,各激光平面在与 CCD 相机主光轴垂直的平面上相交所形成的激光条纹基本平行。第一、第三线光源激光器对称地安装在 CCD 相机的左右两侧,与 CCD 相机的主光轴成 15~60
华中科技大学 2021-04-14
一种三维微型模具的制造方法
本发明提供了一种三维微型模具的制造方法,在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形,将质量百分比 98%的H2SO4 与质量百分比 30%的 H2O2 按照体积比 2~4∶1 混合,采用此混合溶液对各硅片进行清洗,然后活化,再将活化后的硅片干燥,按层次迅速对准贴合,最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具,具有精度高,成本低,柔性大的优点,适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。
华中科技大学 2021-04-14
噁唑啉化合物改性热塑性塑料的研究
噁唑啉化合物含氮和氧的五元杂环化合物,其中活性最大的是2-噁唑啉化合物。它可与羧基、酸酐、氨基、环氧基、巯基、羟基、异氰酸根等基团进行阳离子或自由基开环聚合反应。噁唑啉化合物在热塑性高分子材料的应用主要表现在反应性增容和对填料及纤维的表面处理两个方面。 采用噁唑啉化合物扩链PET或PBT,也都得到较好的增粘效果。噁唑啉化合物还可用于塑料回收等方面,通过提高大分子链的分子量来抵御降解。 噁唑啉化合物可以改善塑料共混体系的相容性,使物性显著提高。这是近年来的研究热门。一方面
四川大学 2021-04-14
藏药异叶青兰抗病毒药物的开収
在大量调研藏药资源,选取清热解毒类品种,建立针对病毒复制周期靶点为机制的抗病毒药物的筛选细胞模型。获得针对抗单纯疱疹病毒Ⅱ 型的 Vero 细胞筛选模型,针对抗腺病毒的 Hep-2 细胞筛选模型,针对抗流感病毒 H1N1 的 MDCK 细胞筛选模型,应用于天然药物以及化合物抗病毒活性的筛选。获得具有抗流感病毒,腺病毒,单纯疱疹病毒活性的提取物以及化合物。结果表明藏药异叶青兰对呼吸道病毒,流感病毒,腺病毒单纯疱疹病毒-II 型均具有很强的活性,对小鼠脑炎的死亡保护率达 30%。异叶青兰有效部位石油醚分
兰州大学 2021-04-14
一种基于偏振态控制的双档变焦透镜
本发明提供一种基于偏振态控制的双档变焦透镜,在光的前进方向上,依次设有起偏器、1/4 波片、 透镜 1 和透镜 2,透镜 1 和透镜 2 采用由纳米砖阵列构造的平面纳米砖透镜,纳米砖阵列中各纳米砖的 尺寸相同,相邻纳米砖的中心间隔相同,纳米砖的转角根据距离透镜中心距离确定。这种双档变焦透镜 的特点在于,仅需要将照射纳米砖超材料结构透镜的圆偏光的旋向改变(即 1/4 波片转动 90°),两片纳米 砖超材料结构透镜的焦距值均会变成原来焦距值的相反数
武汉大学 2021-04-14
一种反推水库入库流量过程的测算方法
本发明公开了一种反演水库入库流量过程的测算方法,包括步骤:步骤 1,观测水库坝前水位获得 水库观测水位信息,收集水库出库流量数据;步骤 2,考虑水库入库流量过程连续性,建立优化目标函 数;步骤 3,采用拉格朗日法对优化目标函数中反推水库容量求偏导,获得反推水库入库流量的解析公 式;步骤 4,采用解析公式获得反推水库库容,根据反推水库库容反推获得水库入库流量。本发明能保 证水库入库流量过程光滑,避免流量出现负值或较大波动。
武汉大学 2021-04-14
可降低细菌耐药性的群体感应抑制剂
细菌群体感应抑制剂是李红玉教授团队以嗜酸硫杆菌为研究材料,研发的一种可通过阻断细菌生物膜的形成从而显著降低细菌耐药性的群体感应抑制剂。细菌生物膜是大量细菌通过信号分子交流从而诱导特定基因表达凝聚成的具有高度抵抗力的结构性细菌群落,坚实稳定、不易破坏,抗生素等物质难以贯穿从而使得药物没有作用。该团队研发出的群体感应抑制剂是一种信号分子调节剂,在不影响细菌正常生长的前提下,可抑制细菌的交流从而阻止了细菌生物膜的形成(图 1),降低了细菌的抵抗力,从而降低其耐药性。该产品拥有国家发明专利,具有自主知识产权
兰州大学 2021-04-14
INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法
本发明公开了一种 INS 控制 GNSS 基带的开环跟踪误差分析及控制方法,本发明基于 GNSS/INS 深 组合接收机的闭环跟踪环结构构建 INS 误差与开环跟踪误差间的拉氏域数学模型;采用拉氏域数学模型 分析基于不同精度等级惯导的开环跟踪误差发散规律;基于开环跟踪误差发散规律提出合理的 INS 控制 GNSS 基带的跟踪机制。本发明方法可用于短时间卫星信号不可用的情况,能有效提高 GNSS 接收机信 号跟踪环路的连续性,从而获取较高精度的连
武汉大学 2021-04-14
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