本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。

本产品为一种改性有机硅柔软剂，主要用于织物的后整理，给予织物柔软、滑爽等手感。 氨基硅油作为一种织物柔软剂，不仅对棉、毛、麻等天然纤维有较好的柔软手感，对合成纤维也有较好的柔软效果。但经氨基硅油整理后的织物也存在亲水性差、经光线照射后容易黄变的缺点，从而不能用于对浅色织物的后整理。本产品对氨基硅油直接进行醇基化改性，产品既保留了部分未改性的氨基硅油，又引入了羟基亲水基团。经过本产品处理过的织物，既有经过氨基硅油处理后的手感特点又可改善织物的染色性、耐热性和耐水性。同时氨基硅油中容易氧化黄变的氨基被部分亲水基团醇基取代，增加了织物的亲水透气性，降低了处理后织物的黄变。

本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。

主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。

本发明公开了一种自激振式振动筛筛网清理装置，属于振动筛分机械技术领域，所 述的自激振式振动筛筛网清理装置由清理滚筒、支撑导向装置、传动系统和控制系统组成。 其中，支撑导向装置安装在筛框上，并位于筛网的上方；清理滚筒滚筒轴的两端套在支撑导 向装置的导向杆上，传动系统通过链传动系统和钢丝绳驱动清理滚筒作往复运动；控制系统 的控制线分别与清理滚筒和传动系统的电机连接。在筛面发生堆料或堵孔现象时，启动本发 明对筛面进行清理作业，可降低劳动强度，无须手工完成筛网清理，且本发明具有结构简单、 操作方便、清理效率高、清理效果好等优点，能有效地保护筛面质量，可适用于各种大型振 动筛或筛分粘湿物料的振动筛上。

本项目是基于PPP1CA生物标志物，进行肝癌早期筛查和诊断试剂盒开发及产业化的项目，开发PPP1CA胶体金肝癌早期筛查试剂盒，用于肝癌早期普筛。 一、项目进展 创意计划阶段 二、负责人及成员 姓名 学院/所学专业 入学/毕业时间 李昱洁 药学院/药学专业 2018/2022 赵祖一 药学院/药学专业 2020/2024 刘楚熠 药学院/药学专业 2020/2024 赵博韬 公共卫生学院/预防医学专业 2018/2025 于悦 人文学院/历史学专业 2020/2024 沈佳敏 经济学院/经济统计专业 2019/2023 韩一诺 生命科学学院/生物科学 2019/2023 魏翘楚 公共卫生学院/预防医学专业 2020/2025 赖欣 药学院/药学专业 2020/2024 赵书悦 药学院/药学专业 2020/2024 谭清 法学院/法学专业 2020/2025 尹洁 医学院/临床医学专业 2019/2024 杨梦娇 经济学院/金融工程专业 2019/2023 三、指导教师 姓名 学院/所学专业 职务/职称 研究方向 李良成 药学院/药学专业 厦门大学药学院副教授 肿瘤、自身免疫性疾病和糖尿病的发病机理及药物开发研究 洪万进 药学院/药学专业 新加坡分子与细胞生物学研究院院长、厦门大学药学院教授 分子与细胞生物学、病毒学和癌细胞生物学 蓝伟光 化学系/化学专业 厦门大学材料学院讲座教授 生物膜技术 徐陈芳 药学院/药学专业 厦门大学药学院辅导员 药物分析 四、项目简介 早期肝癌发病隐匿，最初癌变细胞与正常细胞几乎无差异，人体不会感到不适。问题在于，目前临床检测肝癌的生物标志物—甲胎蛋白（AFP）存在特异性差、灵敏度低等的缺点，早期患者不能被及时发现，治愈率低、死亡率很高，所以肝癌的早期筛查对于提高患者生存率具有至关重要的临床意义。 前期研究中利用原代培养的肝癌细胞分泌的外泌体，结合蛋白组学和生物信息学技术，寻找到PPP1CA作为肝癌肿瘤标志物，使肝癌检测的灵敏度和特异性均达到90%以上，优于目前市面上的检测试剂盒（以甲胎蛋白为生物标志物，灵敏度为18-60%）。 本项目是基于PPP1CA生物标志物，进行肝癌早期筛查和诊断试剂盒开发及产业化的项目，开发PPP1CA胶体金肝癌早期筛查试剂盒，用于肝癌早期普筛；同时也将开发PPP1CA免疫化学发光检测试剂盒，用于肝癌分期检测，并积极推进其商业化生产与应用。

对四种典型的晶种成核过程进行探索实验，重点研究了其水解成核机理，探索酸度值等成核环境对晶种特性的影响机制

项目涉及的产品是钛基合金，具体包括钛铁合金、钛铝合金以及钛铝钒合金等，其广泛用于冶金、国防、军工、航空、航天以及生物医学等领域。目前，现有的钛及钛合金等钛材的利用流程仍全是高钛渣/金红石-高温氯化-真空还原-精制-海绵钛-破碎-真空熔炼-钛材这一高能耗、高污染的高成本生产工艺。东北大学在国家973、国家自然科学基金以及企业重大科技攻关等项目的联合资助下，针对现有金属热还原法直接制备钛基合金存在的钛氧化物还原不彻底等技术难题，发明了基于喷吹金属蒸气深度多级还原直接冶炼钛基合金的新技术，并突破了其喷吹金属蒸气深度还原装备的技术难题，建成了吨级规模的基于喷吹深度多级还原装备。成功制备出氧含量低于0.6%的低氧高钛铁；氧含量低于0.1%，氮含量低于200ppm的钛铝合金及钛铝钒合金，目前已完成20kg规模的放大试验，建成了吨级规模的基于喷吹深度多级还原核心装备，进入产业化和推广应用阶段。核心成果已获得国家发明专利６项，整体技术及装备水平世界领先。 项目研究形成了从方法-产品-装备的原始创新，突破直接热还原法制备钛基合金的技术难题，实现了钛合金的短流程清洁制备，为国家安全建设和社会经济建设提供了战略物质保障社会经济效益显著。未来5年，我国特种钢精炼用高钛铁合金用量可达30万吨，若投资建立一条深度多级还原直接冶炼低氧高钛铁的生产线，可实现年产量5000吨的规模，其总产值可达2.5亿元以上，年均创造效益约5000万元。建设一条1000吨规模的钛铝基钛合金生产，其总产值可达2亿元以上，年均创造效益约5000~8000万元。因此项目建设将极大地拉动地方经济。

随着我国战略性新兴产业（如高速铁路、大飞机）和高端装备制造业（如部分高速精密机床）的发展，高端轴承进口增长较快。目前高铁轴承全部进口，部分高速精密机床轴承还需进口。从长远看，对我国战略性新兴产业的成长将产生不利影响。钛镍合金是一种金属间化合物，具有优良的耐磨性、耐蚀性。钛镍合金TiNi60是一种Ti、Ni质量原子比为40: 60的金属间化合物，具有低密度、高硬度、优异的耐蚀性以及良好的摩擦学性能且在热处理前易于加工，可望在高速轴承中得到应用。TiNi60的密度为6.7 g/cc，比普通轴承钢密度小30%左右，密度小这一特点，可实现轴承的轻量化和高速化。本项目主要是解决现用滚动轴承材料难以满足高速滚动在高铁、高速机床等高技术领域应用中高强度、低摩擦、高耐磨性要求的问题，采用高真空感应熔炼技术制备出优异性能的高速滚动轴承材料-钛镍60合金，并采用可生物降解润滑剂的超滑技术对高速球轴承会为耐磨、减摩起到事半功倍的作用，为高端轴承的国产化奠定基础，为我国装备制造业的发展贡献力量。本项目的前期工作，针对球轴承材料TiNi60采用蓖麻油润滑获得了超低摩擦系数（最低达到0.004）。该项技术完全由本课题组研发，完全具有自主知识产权，此外该技术具有生产过程环保、能耗小、制造成本低、产品易系列化和原材料无危险性、毒性等突出特点。因此可以肯定该项技术、该类产品的出现为我国轴承市场注入了新鲜的“血液”。可以预见该技术的市场前景是非常广阔的，其产品的市场竞争优势也是非常明显的。