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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
一种雨水调蓄池预选址的确定方法
(专利号:ZL 201410270343.X) 简介:本发明公开了一种雨水调蓄池预选址的确定方法,属于城市排水技术领域。本发明的一种雨水调蓄池预选址的确定方法,其主要内容是:基于SWMM模型和城市内涝防治标准,以雨水系统节点为评价对象,以预选调蓄池的位置为目标,以节点周围的积水深度、积水范围和积水时间为评价因子,考虑节点的重要性、敏感性并加权,经转换和计算,得出各节点的综合评价指标——积水危害指数,按积水危害指数大小进行排序,最终结果,积水危害指数越大的节点确定为调蓄池预选址的地点。本发明考虑的影响因素更多,得到的预选址技术方案更为合理,这将为后期调蓄池布局优化提供一个很好的初始条件(方案),将提高“分析比较(方案优化)”环节的工作效率。
安徽工业大学 2021-04-11
城市景观河初期雨水污染物原位削减装置
本技术的功能是这样实现的:对雨水排放口作一定改造,在雨水口两侧设置雨水滞留小室和溢流堰,使初期雨水流入小室并截留污染物,后期雨水通过溢流堰直接进入水体。雨水滞留小室是一种生物填料床,能有效截留有机污染物并生物降解。本技术的效果是:无机械、电子设备,结构简单,效果可靠,维护方便,可显著去除初期雨水颗粒有机物,适用于控制城市景观河初期雨水污染物的入河量。
扬州大学 2021-04-14
城市面源污染控制及雨水资源化利用技术
根据城市面源污染的特征,以污染源控制、径流量削减和污染物空间拦截为基点,研究和攻克一批关键性单元技术,如:屋面径流分流集水器、人行道侧渗流带、合流制管网溢流雨水拦截分流控制装置等单元技术,建立了城市面源控制技术体系。选择和应用相关技术,合理组合,可从源系统——运移途径——汇系统三个层次上,分级控制城市面源,并实现城市降雨的资源化利用。 主要利用生态工程技术解决城市面源的污染问题,所采用的生态工程技术不仅可回收利用雨水,同时也具有景观效果。所述成果具有较好的环境效应和经济效应,同时具有景观价值。 成果完成时间:2015年2月
华中农业大学 2021-01-12
一种网络舆情观点收集方法
本发明公开了一种网络舆情观点收集方法。
电子科技大学 2021-04-10
从空气中收集水的热管集水器
本发明公开了一种从空气中收集水的热管集水器,所述的集水盘为内部带有空腔的倒锥形金属体,集水盘安装固定在底座支架上,底座支架安装固定在地面上,在集水盘上方通过固定支架固定安装有非金属材料的圆锥形遮阳顶棚,所述的遮阳顶棚的俯视半径大于集水盘的俯视半径,所述的热管包括有多个蒸发器和U型冷凝管,所述的多个蒸发器呈放射状均匀分布在集水盘的内表面,在蒸发器内部设有毛细管,在集水盘的外部边缘固定有圆形蒸汽连通管,蒸发器的末端与蒸汽连通管连通,在集水盘的外表面设有蒸汽回路管。本发明可以达到日夜两用,从而大大的提高了
安徽建筑大学 2021-01-12
一种卫生痰液收集器
本实用新型涉及医疗器械技术领域,尤其涉及一种卫生痰液收集器,它包括透明罐体、挤压囊、注水管、负压管、收集管和排痰管,还包括清洗装置、密封盒和连接套,所述清洗装置包括电机、传动轴Ⅰ、圆锥齿轮Ⅰ、圆锥齿轮Ⅱ、传动轴Ⅱ和喷头,电机连接传动轴Ⅰ,传动轴Ⅰ与圆锥齿轮Ⅰ连接,圆锥齿轮Ⅰ与圆锥齿轮Ⅱ垂直配合,圆锥齿轮Ⅱ与传动轴Ⅱ连接,传动轴Ⅱ连接喷头,连接套设置在收集管接头与负压管接头;本实用新型有效的对收集器进行全面彻底的清洗消毒,防止因清洗不彻底造成错误的检测结果,使用安装方便。
青岛大学 2021-04-13
一种大葱自动堆放收集装置
本实用新型涉及大葱收获机械,尤其是一种大葱自动堆放收集装置。包括传送部,其中传送部包括水平传送部和竖直传送部,还包括收集箱和均匀堆放部,竖直传送部的顶端与水平传送部的尾端连接,收集箱位于竖直传送部的下方,均匀堆放部分别与竖直传送部和收集箱连接。其实现了大葱的均匀堆放,大大提高了大葱的收集效率。 
青岛农业大学 2021-04-13
宽带长距离传输光接收集成芯片
本项目针对国内高端光电子器件严重依赖进口的现状问题,自主研制Tb/s级以上 PDM-16QAM的硅基大规模阵列集成相干光接收芯片。根据本研究组在硅基集成光电子器件、偏振控制器件、光混频器等方面的建模仿真、制备测试基础,依托“先进电子材料与器件”校级平台的先进半导体加工能力,制备了高偏振消光比的偏振分束器、偏振旋转器,高相位精度的90度混频器,大带宽高响应度的探测器阵列,高效硅基芯片-光纤耦合,以及可调光功率衰减器。 通过本项目的实施,在硅基光接收集成芯片、高端光电子器件及其大规模集成的关键技术领域有所突破,建立关键工艺技术与器件标准库,形成硅基光电子器件标准加工工艺流程,实现高端光电子器件的自主制备,改变了我国硅基光电子器件技术无偿地向国外转移的历史,缩短我国光子集成技术与国际先进水平的差距,提升我国光通信产业的竞争力。部分成果获得2014年度上海市发明二等奖。
上海交通大学 2021-04-13
泉州水处理、莆田水处理、厦门水处理
产品详细介绍   反渗透是一种以压力为推动力的膜分离过程。随着膜性能的提高,反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。     反渗透技术的主要特点: 能耗低 结构紧凑 操作简单易维修 自动程度高 不污染环境     反渗透技术广泛应用于给水处理;城市自来水的净化;制取电力、医药、医疗和食品等行业的纯水、超纯水、注射用水和食用纯净水的制备;海水和苦咸水的淡化制取饮用水等。     反渗透系统由反渗透装置及其预处理和后处理三部分组成。反渗透系统的核心是反渗透装置,预处理是反渗透装置能否长期稳定运行的前提,后处理用以满足不同处理对象的最终产水水质指标
泉州市大华膜科技有限公司 2021-08-23
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