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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
一种具备零直流电压故障穿越能力的 MMC 及其设计方法
本发明公开了一种具备零直流电压故障穿越能力的 MMC 及其 设计方法。综合半桥子模块成本低、运行效率高及全桥子模块可输出 负电平的优势，采用本发明所提出的零直流电压故障穿越方案，根据 半桥子模块与全桥子模块额定电压，并结合 MMC 直流侧额定电压及 交流侧相电压峰值，计算出半桥和全桥子模块配置个数；得到的 MMC 可在保证其能实现零直流电压故障穿越的前提下，有效降低变换器成 本及提高变换器的运行效率。本发明提出的技术方案并不局限于半桥子模块和全桥子模块的组合，还可以是半桥子模块和其它能在非闭锁 状态
华中科技大学
2021-04-14
一种用于加工大直径薄壁盘类零件的数控双面车床
华中科技大学
2021-04-14
复杂零件全流程加工精度/效率/能耗预测技术与智能工艺优化决策系统
本项目突破了机理模型与工况数据混合驱动的航空/航天复杂薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗预测技术，提出了零件全流程加工智能工艺优化决策方法，开发了具有完全自主知识产权的智能加工产线工艺全流程智能决策和优化软件系统。
一、项目分类
关键核心技术突破
二、成果简介
本项目突破了机理模型与工况数据混合驱动的航空/航天复杂薄壁曲面零件全流程加工精度/效率/能耗预测技术，提出了零件全流程加工智能工艺优化决策方法，开发了具有完全自主知识产权的智能加工产线工艺全流程智能决策和优化软件系统。
1、提出机理模型和工况数据混合驱动的航空/航天复杂薄壁零件全流程加工精度/效率/能耗高效高精预测算法，突破全流程加工工艺智能优化与决策技术。
2、开发具有自主知识产权的智能加工产线工艺全流程智能决策和优化软件系统，实现能耗监测/DFM/CAM/CAPP等工艺设计软件核心算法完全自主可控。
华中科技大学
2022-07-27
一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断控制方法
本发明公开了一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断 控制方法，短路电流选相分断控制方法包括 S1 实时采集电流信号，并 判断是否发生短路故障，若是，则转入步骤 S2，若否，则继续采集电 流信号；S2 采用类-Prony 方法对短路电流进行处理，获得短路电流零 点；S3 根据短路电流零点、断路器的分闸动作时间和最佳燃弧时间获 得距离目标相位的延时时间；S4 判断继电保护指令是否达到，若是， 则直接分断开关，若否，则进入延时倒计时；S5 判断延时倒计时时间 是否为 0，若是，则转入步骤 S6，若否，
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于复杂零件的固熔复合增材成形方法
本发明公开了一种适用于复杂零件的固熔复合增材成形方法， 该方法包括以下步骤：建立金属零件 CAD 几何模型，然后提取 STL 模型，利用分层切片软件以分层厚度为单位对 STL 模型进行合理分层 并提取各层的轮廓信息，由计算机根据这些轮廓信息生成控制指令； 通过切割装置用该层对应的数控指令沿该层的轮廓轨迹切割该层板 料；按照各层的排列次序通过焊料依次将各层板料进行粘合，以此完 成整个零件的粘合处理；粘合处理后的整个零件进行加热，以实现固 熔复合熔接成形，以此方式，完成复杂零件的增材成形。本发明与现 有
华中科技大学
2021-04-14
一种用于轴类零件在装配或加工中实现翻转的装置
本实用新型公开了一种用于轴类零件在装配或加工中实现翻转的装置。包括气爪机构和翻转机构，传送链上沿传送方向依次设置有用于控制轴类零件前进和停止的气爪机构和翻转机构；翻转机构包括两个底座、两根竖直导杆、水平导杆和导向杆，两根竖直导杆下部分别插装在两侧的底座上；竖直导杆上部固定安装有水平导杆，两侧的水平导杆相对布置，两侧的水平导杆之间套接有导向杆；底座底部侧壁开有槽口，槽口内装有用于防止轴类零件过度翻转的弹簧片。本实用新型能有效的保证零件的翻转，减少了操作工位，同时也减少工作设备，结构简单，而且不会占用太多空间，适用于各种轴类零件，降低了成本，大大提高了生产效率。
浙江大学
2021-04-13
一种半导体激光器泵浦的克尔透镜锁模钛宝石激光器
本发明公开了一种半导体激光器泵浦的克尔透镜锁模钛宝石激 光器，包括：第一半导体激光器，用于发射蓝绿波段的连续激光来泵 浦谐振腔内的钛宝石晶体；谐振腔用于使近红外波段的激光发生振荡 和锁模输出飞秒脉冲激光；干涉仪使飞秒脉冲激光产生拍频信号得到 载波包络偏移频率；反馈调节单元用于调节谐振腔端镜的前后位置和 倾斜度以及半导体激光器输出激光的功率，从而保持重复频率和载波 包络偏移频率的稳定。本发明可以输出重复频率和载波包络偏
华中科技大学
2021-04-14
水下自主航行器与水面移动平台的水下非接触移动接驳装置
本发明公开了一种水下自主航行器与水面移动平台的水下非接触移动接驳装置，该装置包括水面移动平台侧部分和水下自主航行器侧部分；其中水面移动平台侧部分主要包括水面移动平台船体、非接触接驳主控单元、喇叭状导引口、非接触电能传输初级线圈、水面移动平台侧信号传输天线、电磁铁锁紧单元、水面移动平台侧声学通讯定位模块、圆筒型导引口等，水下自主航行器侧部分主要包括视觉导引组件、水下自主航行器侧声学通讯模块、水下自主航行器侧信号传输天线、水下航行器主体、非接触电能传输次级线圈、电磁锁紧块、锥形保护套。本装置增大了水下自主航行器的探测范围和相关探测任务执行的灵活性，并且降低了水下自主航行器的回收成本。
浙江大学
2021-04-11
非制冷薄膜型红外焦平面阵列探测器结构及其制备方法
非制冷薄膜型红外焦平面阵列探测器结构，包括含读出电路的第一基片，含热隔离微桥阵列和敏感元阵列的第二基片，所述第一基片与第二基片键合成一体，所述热隔离微桥阵列中的各热隔离微桥单元以刻蚀后的第二基片为桥墩，以与所述桥墩顶面紧密结合的支撑层为桥面；各热隔离微桥单元的桥面上均设置有敏感元阵列，各敏感元阵列通过引线电极与第一基片上对应的读出电路实现电连接。制备方法：第一基片键合面图形的制备；支撑层制备；敏感元阵列的制备；第二基片正面保护；热隔离微桥阵列的制备；第一基片与第二基片的键合；除去第二基片的正面保护层；敏感元电极读出电路电极的连接。
四川大学
2021-04-11