一种用于柔性膜转移的机械手控制系统
本发明属于柔性电子生产相关设备领域,并公开了一种用于柔 性膜转移的机械手控制系统,包括多自由度机械手、多传感器反馈单 元和控制单元,其中多自由度机械手用于对柔性膜执行转移操作;多 传感器反馈单元包括 CCD 传感器、激光位移传感器、重力传感器组、 真空传感器、压力传感器等,并用于对机械手包括位置、姿态、真空度和接触力在内的多项状态指标执行检测;控制单元则基于多传感器 反馈单元的信息,对机械手整个转移过程的操作执行精确控制,同时 还可对拾取头工作段的吸附面积大小进行灵活调节。通过本发明,可 根据柔性膜
华中科技大学
2021-04-14