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三维非硅微纳集成制造技术
项目成果/简介:随着支配半导体技术数十年的摩尔定律日益接近其发展极限,多种功能器件集成被认为是超越摩尔定律延续集成电路发展进程的重要途径之一,这就需要能够满足多种功能器件高密度集成的制造技术。多元兼容集成制造技术就是为此而开发的,该技术通过在更大范围内优选结构/功能材料组合,开发异质集成制造工艺,大大拓展了功能微器件创新设计和制造的腾挪空间。经过多年探索,目前已形成了涵盖金属、聚合物、陶瓷、复合材料的MEMS异质异构制造技术体系,并在多种类型功能器件研发中发挥了关键作用,初步展现了其基础性支撑作用,相关技术获得2016年度上海市技术发明一等奖。微系统集成发展趋势多元兼容集成制造技术 获奖情况上海市技术发明一等奖2016年团队获奖国家技术发明二等奖2008年上海市技术发明一等奖2007年超薄超快高热流密度微通道散热器上海交通大学团队在长期研究经验和技术积累基础上,创造性地提出了不同高热导率材料组合构造的复合结构微通道散热器设计方案,并基于多元兼容集成制造技术完成了多种尺寸样品研制,其中,热源面积与常用功率芯片尺度相当的超薄散热器冷却能力达到800W/cm2以上,在保留传统微通道散热器良好系统兼容性和适用性的基础上达到了相当高的散热能力水平,为解决高功率芯片系统超高热流密度散热问题提供了一个深具可行性的解决方案。高温薄膜温度传感器研究 发动机燃烧室等极端恶劣环境下(高温、强振动、强腐蚀等)的工作参数现场监测对传感器技术是严峻挑战,国内外研究广泛。交大团队基于特种材料微纳集成制造技术的长期积累,在高温绝缘薄膜材料、多层薄膜应力调控、曲面图形化和高温敏感介质等技术上取得了一定突破,成功开发了多种可与现场结构共型的高温薄膜传感器,具有体积小、环境扰动小、响应快、灵敏度高、可分布式安置等优点,该团队已经掌握了温度、应力/应变、热流等多种高温状态参数测量技术,适用温度在800-1300℃之间。薄膜绝缘电阻随温度的变化及测试结构高温薄膜温度传感器制造及曲面图形化技术薄膜温度传感器在发动机不同部位测温需求无线温度传感器测温系统高性能转接板基于转接板的多芯片封装是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是传统的硅转接板性价比不高,阻碍了广泛应用。上海交大团队基于非硅微加工技术的长期积累,突破了硅转接板绝缘层完整性和再分布层热隔离的难题,成功研制了漏电流极低的低成本高性能硅转接板。此外,还开发了复合材料非硅转接板,TCV陶瓷转接板,TGV玻璃转接板等各种三维封装基板,实验室能够针对不同类型器件三维高密度封装的具体要求,定制开发不同功能的专用转接板,为多功能、高密度、高功率、低成本封装提供个性化解决方案。TSV-3D 高密度封装概念图 金属-聚合物-纳米复合材料非硅基转接板实物图片知识产权类型:发明专利 、 软件著作权 、 集成电路布图设计技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:国家级
上海交通大学 2021-04-10
微纳复合结构富锂锰基正极材料
近年来,锂离子电池在智能电网、航空航天和军事储能等高能耗新能源领域的应用不断扩展,现有商用正极材料体系(包括层状结构的镍钴锰酸锂、尖晶石结构的锰酸锂和橄榄石结构的磷酸铁锂)的实际比容量已经接近各自的理论极限值,无法满足日益增长的能量密度需求。富锂锰基正极材料不仅具有高的比容量(250 mA h/g)和能量密度(1000 Wh/kg),而且其较低的钴和镍含量能够有效降低电池的成本。本项目主要通过构筑缺陷来增强富锂锰基正极材料的电化学性能,实现高的首圈库伦效率、倍率性
厦门大学 2021-01-12
微纳材料表面纳米包覆技术和装备
微纳材料表面纳米包覆是提升其功能特性的关键,是微纳制造研究领域的国际前沿,亦是航空航天、能源环保、发光显示等领域的共用技术。纳米包覆面临着精度不可控、不均匀、不致密等“顽疾”。团队提出多场耦合克服微纳材料内聚力的离心流化策略,保障了微纳材料充分分散包覆后的固有物化特性;揭示离心压差补偿的动态包覆机理,实现了可控致密的均匀包覆层制备;提出行星流化的微纳材料分散策略,国际首创行星流化原子层沉积装备,批量一致性达99%以上。申报技术受到包括美国斯坦福大学、阿贡国家实验室等机构,美国、德国、加
华中科技大学 2021-04-14
复合纳滤膜制造技术及系列产品研发
本项目从高分子分离膜材料及制备技术入手,通过优化膜材料性能、膜制备工艺,采用界面聚合反应、溶液涂覆交联等工艺技术,开发了不同膜材料、不同荷电特性、不同切割分子量和面向不同应用领域的复合纳滤膜。项目技术包括膜材料配方、生产工艺及产业化制造技术。已获授权发明专利 3 项。本项目大幅提升了国内复合纳滤膜制备及其产品的技术水平,拥有自主知识产权和核心竞争力。系列多功能纳滤膜材料制造技术可进行产业化转化,产品性能处于国内领先、可替代进口,产品可广泛应用于饮用水净化、工业流体分离等领域。
浙江理工大学 2021-04-11
霍夫纳格智能科技(嘉兴)有限公司
霍夫纳格智能科技(嘉兴)有限公司成立于2019年,是智能制造领域的高科技公司。公司专注机器视觉技术与人工智能技术,将先进的视觉感知技术,结合工业制造的实际需求,研发制造广泛适用于工业制造质检监控、协作加工、智能运输的视觉感知产品与智能处理设备,提升工业制造效率与品质,降低制造成本,为客户创造价值,为制造业智能化升级提供助力。 公司创始团队成员来自清华大学和和君商学院,核心技术团队包括多名毕业于清华大学、北京航空航天大学、同济大学等知名高校的博士和硕士,在人工智能技术、机器视觉、嵌入式电子、计算机软件、光学及自动化等领域具有深厚的技术积累和行业经验。 公司依托团队的专业技术和行业经验,深刻把握智能制造产业升级历程中,各个生产环节对机器智能感知的需求,开发高集成度的机器视觉产品和装备,应用于智能加工制造环节的智能视觉引导和工业生产中质量控制环节的智能外观检测。
霍夫纳格智能科技(嘉兴)有限公司 2021-12-07
南京纳才企业管理咨询有限公司
南京纳才企业管理咨询有限公司成立于2018年3月,总部位于六朝古都南京,是一家快速发展、面向全球的高端人力资源服务机构。为各类成长型企业提供高端人才猎聘、管理培训、招聘外包、人事外包等专业的国际化人才服务机构。纳才与江苏投资人中心、各高校校友会、欧美同学会等组织机构保持密切合作关系,采用招聘+创业孵化的模式搭建优质猎头顾问团队。
南京纳才企业管理咨询有限公司 2022-02-25
浙江优纳特科学仪器有限公司
浙江优纳特科学仪器有限公司 2022-11-01
大口径方管滚模成形新技术
方矩形钢管是用途极广和最常见的异型钢管,也是一种经济端面管材,与其相同截面积的其他非圆钢管相比,具有重量轻,强度高,抗弯截面模量大,节省金属,易于安装等优点,主要用于建筑、医疗器械、高档家具、汽车、飞机、地铁、造船等行业。  冷弯方矩形管的主要成型工艺有“圆变方”和“方变方”两种,前者生产效率高,是将高频圆形焊管经过冷拔整形成为最后形状。   随着市场和技术发展的需求,北京科技大学机械学院在成功开发了“高精度冷拔精密钢管”工艺与设备基础上,又先后开发出滚模冷拔锥管、葫芦形管、大口径方管等复杂断面管材以及多通管液压胀形等新工艺。我们利用大型仿真软件对大口径方管的冷拔过程进行了各种工艺参数下的模拟。开发成功650X650以下,最大壁厚25mm的方矩形管成形新工艺与设备。 冷弯型钢在国外建筑业中用途非常广泛,被用作屋架、檩条、桁架、刚架、墙架、龙骨、屋面板、墙板、楼板、门窗乃至容器、管道、围堰、钢板桩、防波堤等。近年来,冷弯型钢组合而成的网壳、货架、单层和多层房屋也得到了很快的发展。在发达国家,建筑业是冷弯型钢的第一大用户,冷弯型钢占钢材总量的5%,建筑业用冷弯型钢占冷弯型钢总量70%以上,冷弯型钢产品应用于建筑业的主要是结构用冷弯方矩形管和建筑用结构冷弯型钢。从结构力学和经济角度,冷弯型钢和H型钢结合应用于建筑业是最佳组合,可以实现工业厂房和民用住宅建设工厂化。
北京科技大学 2021-04-11
动力电池模热管理性能模拟
电动汽车采用动力电池包提供能源,动力电池的热管理系统是电动汽车最重要的系统之一。动力电池的热管理决定了电动汽车的充电速率以及极端条件下的使用性能。项目开发了高精度的模型并数值模拟了动力电池包在不同充、放电,不同环境温度下的电池温升及电池包内温度分布,与试验数据对比表面模拟精确,可替代试验。
厦门大学 2021-04-11
一种顶针定位模切纸品输送设备
本发明公开了一种顶针定位模切纸品输送设备。包括:机架,落纸对中机构,压纸机构,前段输送带,后段输送带和顶针定位机构;在机架上依次装有前段输送带和后段输送带,沿输送带前进方向的前段输送带上方,依次安装有落纸对中机构和压纸机构;后段输送带由平行的三条皮带组成,后段输送带上方安装有平行后段输送带短边的两组顶针定位机构;前段输送带和后段输送带均位于同一水平面上。本发明通过落纸对中机构和顶针定位机构实现纸品的定位,避免了电机的反复启停动作,大大提高了电机寿命。
浙江大学 2021-04-11
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