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高精度三轴加速度计产品工艺研发
已有样品/n针对产业界对MEMS 代工的迫切需求,微电子所科研人员以高精度三轴加速度计开发为牵引展开攻关,致力于在现有8 英寸硅工艺线上实现与CMOS 工艺兼容的通用MEMS 加工平台技术,成功开发出大深宽比MEMS 结构刻蚀、MEMS 与ASIC 晶圆堆叠、TSV 电学连接及晶圆级盖帽键合封装等关键工艺技术的量产,最终实现了TSV的ASIC 晶圆、MEMS 结构晶圆及盖帽晶圆的三层键合工艺,并顺利交付首款三轴加速度计产品。
中国科学院大学 2021-01-12
一种高效高精度复合増材制造方法及装置
本发明公开了一种高效高精度复合增材制造方法及装置,采用 激光束与电子束复合实现。在高能束与金属粉末作用的过程中,激光 束扫描熔化表面轮廓的金属粉末,保证零件表面具有较好的表面质量; 电子束高速熔化内部粉末成形零件内腔,以达到最快的成形效率。装 置包括下部包括铺粉辊、工作台、送粉缸和工作缸;上部包括电子束 发生装置、激光束发生装置、底板、二根导轨、二根横梁、同步带轮 和伺服电机。电子束发生装置、激光束发生装置分别作为一
华中科技大学 2021-04-14
一种高精度的刀具偏离量在线测量方法
本发明公开了一种高精度的刀具偏离量在线测量装置,包括固 定安装于机床的主轴头上的装夹机构,所述装夹机构上安装有激光位 移测量装置,所述激光位移测量装置上连接有用于接收和处理其发出的信号的数据采集处理装置,所述激光位移测量装置包括两个以上的 激光测量头,激光测量头均安装在装夹机构上,每个激光测量头上均 设有激光发射器和激光接收器。采用激光位移测量装置测量切削过程 中刀具偏离量,信号采集频率高,测量精度高;采用至少两个激光测 量头,可以同时测刀具的 X 轴方向和 Y 轴方向上的偏离量,并通过建 立几何关系方程进行误差补偿,外部干扰影响小,测量精度高。
华中科技大学 2021-04-11
极光尔沃A9,工业级大尺寸高精度,厂家保障
深圳市极光尔沃科技股份有限公司 2021-08-23
创想三维扫描仪CR-T高精度
深圳市创想三维科技股份有限公司 2021-08-23
成都世纪方舟DDS-609 高精度模块电导率仪
大屏幕高分辨率彩色显示器,具有背光调节功能、使用数字/字母、符号按键操作 8档量程自动变频、自动转换,一键标定,自动校准电极常数 多参数测量,电导率、电阻率、TDS、盐度、电导灰分、温度 参比温度、温度系数、TDS系数、电导池常数可调 具有电极、方法、样品管理、操作人员及权限管理功能 电极管理功能:电极ID管理、记录电极常数、校准信息 用户管理功能:用户ID和密码管理,支持1000个用户登陆密码  方法管理功能:支持操作人员对不同测量需求建立单独的方法 校准管理功能:内置10种电导率标准溶液,1种自定义溶液,有欧美和中国标准溶液可选择  安全管理功能:断电保护功能,支持用户权限管理  界面管理功能:记录关机前测量模式,再次开机则自动进入关机前的模式测量界面 测量模式:不补偿、线性补偿、非线性测量 读数方式:实时测量、自动测量、定时测量 非线性温度补偿测量实验室纯水模式,特别适合电厂、微电子和制药等行业的使用,实验室I、II、III级用水模式、制药用纯水模式、制药用注射用水模式、电子级EW-I EW-II  EW-III 用水模式,均带报警提示功能 具有强大的数据管理功能,时钟和日期双显示,符合GLP标准,可追溯完整的信息 数据查阅:按样品名称查阅存贮数据 数据统计:仪器内置软件协议,将存储的数据直接传输电脑的office Excel、office Word或记事本等软件文本中,方便用户对测量数据进行归档统计、分析、比较等操作 支持测量方法的查阅、创建、拷贝、编辑、删除,1000套测量方法,3种数据输出报告格式:简单格式、普通格式、GLP格式
成都世纪方舟科技有限公司 2021-12-09
YXPVG高精度宽范围可编程直流电源
YXPVG高精度宽范围可编程直流电源是研旭电气最新研制全数字可编程直流电源供应器,采用基于数字信号处理的全数字控制技术以及高效的软开关技术以及主动功率因数校正技术,具有整机效率高、体积小、重量轻的特点,可提供精准的测试数据以及纯净可靠的供电以及与其他设备组建测试系统。本产品具有友好简洁的操作界面,用户操作方便快捷,极大的为您的测试节省了时间及人力成本,是您测试的理想帮手。 产品特点: 标准3U功率可达15KW,单机使用或上仪器都适用; 具备主动PFC功能,功率因数0.99; 最大工作功率≥95.8%,满载工作效率可达≥95.2%; 定电压(CV)/定电流(CC)自动切换,反应快速; 采用分辨率为240x128的LCD显示屏; 全数位设计,输出电压、电流及功率测量显示功能; 可并联多台电源工作,功率可扩展至150KW; 支持限流,均流功能; 支持输入过/欠压保护、输入过流保护; 支持输出过压,过流短路保护功能、以及过温度保护功能; 提供输出电压缓升,并可设定缓升时间,电压缓降,并可设定缓降时间; 10组设定数据记忆; RS-485通信; 直流输出ON/OFF开关。 应用领域: 移动通信;马达老化测试;汽车电子,高铁等领域电气测试;科技研发;LED照明测试;工业控制及自动化;半导体低功耗测试;汽车充电桩;通讯广播电视;太阳能光伏领域;医疗设备;邮电通信及基站;动车组电容,电池组充电测试;真空镀膜设备。
南京研旭电气科技有限公司 2022-07-22
高灵敏度有机污染检测用声表面波传感器
团队长期从事纳米材料及纳米结构研究,在长期纳米结构的制备及性能研究基础上,与我国XX工程结合,开展高功率固体激光装置运行环境污染检测方法研究,基于各种纳米结构制作的声表面波传感器检测灵敏度高达pg/mm2(10 12g/mm2)量级,实现了高精密测试,并且针对装置运行环境中不同有机污染物的复杂情况,实现了高选择性、高灵敏度测量,达到了国际领先水平。已通过在线测试并在XX工程中应用,实现订货。 同时在高灵敏度声表面波传感器的研究基础上,团队在声表面波传感器的敏感芯片区建立了不同的敏感薄膜,如氧化硅薄膜、氧化锌薄膜、SiO2/ZnO复合薄膜,实现了对环境污染气体的高灵敏度响应,特别是在声表面波传感器芯片上建立了三维纳米结构敏感材料,同时对其化学修饰,以实现化学、生物毒剂的高灵敏度监测,目前正在和中电集团进行相关的联合工作。 该传感器可用于定量检测/监测各种真空、实验室、大气环境中的微量有机污染物、化学毒剂和生物毒剂。
电子科技大学 2021-04-10
一种扭摆式叉指微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器,包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底,深掺杂硅层,掺杂硅层的中部为扭转叉指结构,扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区,中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区;静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单,可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学 2021-04-11
一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器,包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层,牺牲层的中部空心,氧化层的中部为扭转板,金属层的顶面设有锚区,金属层位于扭转板上方;扭转板的上方设置第一电容、第二电容,第三电容和第四电容,扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线,第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线;金属线的两端分别与一个焊盘连接;底电极层与金属层连接;在氧化硅层的边部上方设置焊盘,金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单,可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学 2021-04-11
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