本发明的Ｓｉ基微机械悬臂梁耦合间接加热式毫米波信号检测器，结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成／分配器、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁，每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成，用于耦合部分待测信号，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率３５ＧＨｚ处为λ／４。功率通过输入端口对应的ＣＰＷ信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测；频率检测通过测量两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号的合成功率实现；相位检测通过将两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号

本发明的Ｓｉ基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器，结构由悬臂梁耦合结构、功率合成／分配器、直接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁，每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率３５ＧＨｚ处为λ／４。功率通过输入端口对应的ＣＰＷ信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测；频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号的合成功率实现；相位检测通过将两路在中心频率处相位差为９０度的

惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用，其中，微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件，其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先，对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化，概括了微机械陀螺结构的高过载失效机理。其次，结合国内外相关机构公开发表的研究成果，从微机械陀螺仪的抗高过载特性的角度出发，介绍了不同测控方式、不同结构形式、不同结构材料、不同工作原理的微机械陀螺仪的抗冲击能力。最后，对相关报道和论文进行了总结和归纳，提出应从驱动-检测方式、合理的吸能释能结构配置、工作原理、新型结构材料、多级系统缓冲等方面设计和改进高过载微机械陀螺结构，以提高陀螺的抗高过载能力。从面向制导炮弹的应用背景出发,通过对膛内过载环境的量化分析,提出了弹载惯性制导系统中高过载微机械陀螺高过载能力的需求,并在此基础上,对微机械陀螺仪的失效机制进行了归纳和分析。结合国内外相关机构在抗高过载微机械陀螺方面的研究,总结归纳了不同测控原理、不同工作方式、不同结构形式的微机械陀螺仪的抗冲击能力。但目前并未出现任何在高过载(炮击)环境前后微机械陀螺参数未发生变化的报道,说明抗高过载微机械陀螺仪方面的研究工作还需要进一步深入开展,本文认为提高微机械陀螺仪抗高过载特性可从以下5个方面进行改进。 1)采用其他驱动-检测方式代替梳齿电容方式梳齿电容在过载时容易发生断裂和结构吸合以致陀螺结构失效,可采用电磁、磁阻效应等检测原理替代梳齿电容检测方式。 2)采用四波腹振型模态等工作方式代替线振动工作方式 实验数据表明,四波腹振型模态工作方式在高过载状态下性能退化现象优于线振动工作方式的陀螺结构,尤其是在其全角工作模式下,通过四波腹相位信息反映输入角度,相位信息对冲击造成的线位移几乎不敏感。3)采用合理的吸能和释能机构在现有结构中增加合理的吸能和释能机构以吸收和释放由于高过载产生的应力和能量以保护结构。4)采用碳化硅等新材料代替硅材料充分利用碳化硅等新型抗高过载性能好的材料替代硅材料,达到提升高过载特性的目的。5)采用多级抗过载防护技术提高陀螺整体抗过载能力可在 MIMU 外壳、陀螺外壳、陀螺结构外壳、陀螺结构基底等多个环节进行抗过载处理,分级吸收冲击应力波,最终提高陀螺整机抗过载能力。随着新原理和新材料的不断成熟和应用,高过载环境将不再成为微机械陀螺的禁区,如何能够降低成本和体积、提高产量和标定效率、与 MIMU 集成将是抗高过载微机械陀螺在下一阶段中亟待解决的问题。

产品详细介绍 微机械陀螺仪CRG20-02 微机械陀螺仪CRG20-02简介：微机械陀螺仪CRG20系列是一种用来测量运动物体角速度的微型惯性器件，一种新的低成本的微型陀螺仪，适合大批量的应用。该系列产品使用了硅环MEMS技术，在剧烈冲击和震动条件下仍能保持卓越的性能，如果使用石英陀螺，引擎运动时往往会带来很多问题，CRG20则不会受到影响，在船板上其他相同类型的汽笛声使陀螺产生共振而引起的错误，使用CRG20则消除了这样的问题。还有一些品牌的陀螺因为温度漂移大和不规律性而很难实现补偿，CRG20温漂小并具有良好的重复性，用户可以很容易解决该问题。在机器人里使用光纤陀螺所带来的成本高和体积等问题，因为有了CRG20的替代也会轻松解决。 微机械陀螺仪CRG20-02特点：1、独有的COS2θ硅环MEMS技术2、全数字闭环控制3、全温范围内工作，性能稳定，漂移很小，无须温补和校准4、内置温度传感器5、具有SPI和模拟速率输出两种方式6、数字分辨率0.03125°/s7、角度随机游走系数很小，0.3°/rt hr8、抗振动、冲击能力强9、两路辅助的ADC输入10、测量范围：±75°/s和±300°/s可选11、敏感极性：顺时针旋转，输出为正12、体积小：9.5mm*9mm*3.44mm,LCC36 陶瓷封装 微机械陀螺仪CRG20-02应用：应用于：1、平台稳定系统、仪器设备； 2、IMU、导航系统、自适应巡航控制系统；3、机器人；4、汽车ESC、汽车防侧翻、GPS组合；5、摄像稳定等 微机械陀螺仪CRG20-02参数：

本发明的硅基微机械悬臂梁耦合间接加热在线式毫米波相位检测器，实现结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成／分配器和间接加热式微波功率传感器。悬臂梁耦合结构中，两个结构相同的悬臂梁在ＣＰＷ中央信号线上方，用于耦合部分待测信号，通过锚区与功率合成器相连，耦合信号的功率相等，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度为λ／８。悬臂梁下方的ＣＰＷ中央信号线上覆盖了一层Ｓｉ３Ｎ４介电层，用于防止电学短路。参考信号通过功率分配器分成两路信号，分别与两路悬臂梁耦合的信号通过功率合成器合成，功率合成器的输出端连接到间接加热式微波功

本发明的硅基微机械悬臂梁耦合直接加热在线式毫米波相位检测器，实现结构包括悬臂梁耦合结构、功率合成／分配器和直接加热式微波功率传感器。悬臂梁耦合结构左右对称，两个悬臂梁在ＣＰＷ中央信号线上方，结构相同，用于耦合部分待测信号，通过锚区与功率合成器相连，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度为λ／８。悬臂梁下方的ＣＰＷ中央信号线上覆盖了一层Ｓｉ３Ｎ４介电层，用于防止电学短路。参考信号通过功率分配器分成两路信号，分别与两路悬臂梁耦合的信号通过功率合成器合成，功率合成器的输出端连接到直接加热式微波功率传感器进行功

本发明的基于硅基微机械悬臂梁Ｔ型结直接加热式毫米波信号检测器，由悬臂梁耦合结构、Ｔ型结、直接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁，每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率３５ＧＨｚ处为λ／４。功率通过第一直接加热式微波功率传感器进行检测；频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号的合成功率实现；相位检测通过将两路在中心频率处相位差为９０度的耦合信号，分别同两路等分后的参考信号合

产品详细介绍 微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04系列 微机械陀螺仪CRS03系列简介：CRS03系列微机械陀螺仪(角速度传感器) 是用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。陀螺仪应用Corioli效果，采用硅素超微精密环型传感件设计而生产一耐震动的高精度类比输出电压。 微机械陀螺仪CRS03系列特点：◆利用MEMS（微机械加工）的微型器械。◆由于平面环状结构，因此受震动和冲击的影响很小。微机械陀螺仪CRS03系列用途：◆导航◆平台稳定◆汽车安全系统◆遥控直升机◆车装卫星天线设备◆工业用◆机器人◆3D虚拟实境◆船只电子磁针误差补偿有关倾斜（角速度）感应设备 微机械陀螺仪CRS03系列技术参数：

山东恒基农牧机械有限公司总部坐落在恐龙之乡、舜帝故里—山东诸城，是一家生产智能集约化养殖设备、成套饲料加工设备、成套色素加工设备和粪污环保设备的专业厂家。公司成立于2002年，分别现有职工800多人，占地20万多平方米。公司设有山东诸城、青岛、黑龙江三个研发设计中心和生产基地。 我们一直把技术创新作为是维系企业发展的长效动力。通过国际领先的PLM产品生命周期管理信息系统，实现产品研发PDM管理、工艺CAPP管理、生产数字化CAM管理、生产资源ERP管理、销售、服务管理的全方位整合，实现一体化、信息化、智能化管理流程。公司拥有众多专业技术人才以及生产管理精英，采用现代化的人事管理体制，充分发挥人才的能动性，现有优秀的研发设计团队，不断致力于技术创新、产品持续改进与完善，先后与中国农业大学、山东农业大学、青岛农业大学、山东理工大学、国家计算中心、中国农机院、山东农机院等大学和科研机构建立长期战略合作。同时与京东金融、海尔金融、联想金融、中集融资租赁等金融机构建立合作关系。不断完善其全产业链体系，促进品牌快速发展。公司为了打造信息化、数字化、智能化工厂，公司装备了世界一流的自动化、高精度、智能化专用装备，在同行业率先引进欧洲全自动钣金加工单元设备，实现工艺装备柔性化、一对一定制化生产，满足不同客户的个性化需求。 历经十余载风雨磨砺，公司先后荣获山东高新技术企业、中国专利山东明星企业、山东省工程实验室和研究中心、企业技术中心、工业设计中心和行业技术中心；科技部中小企业创新基金扶持企业等多项荣誉称号；是中国农业工程分会企业理事单位、中国畜牧业协会畜牧工程分会和禽业分会理事单位、山东省畜牧协会饲料分会常务理事单位。目前公司具有260多个产品品种以及82产品专利技术。是中国“互联网+现代立体农牧装备技术创新联盟”的发起者，是国家信用体系认证和合作单位。 公司通过不断的研发创新合作，始终以客户为导向，不断开发出满足客户个性化需求的产品。现与国内诸多知名的养殖、食品企业合作，为他们提供优秀的产品和服务，恒基系列产品和成套工程已覆盖全国各省市、自治区，并远销国外60多个国家和地区。以 “超前的产品设计理念、先进的生产技术、精湛的生产工艺、优良的产品质量、真诚的售后服务”为企业赢得了更多用户的信赖与支持。 我们把“以诚为基，创造价值”理念渗入到公司日常的经营活动中，努力为客户提供恒久的产品和服务。

本发明公开了一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近 SiO2 层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的 Si 层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的 Si 以及固定结构与其它结构之间的区域底部的 Si，使得固定结构与窄槽下方的 Si 层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广