|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
乘用车与轻型汽车底盘关键零部件轻量化与可靠性分析技术
该项技术针对汽车底盘关键零部件，结合ADAMS、HyperWorks、FE-Fatigue等软件进行多平台联合动态仿真，获取其在多种工况下的载荷谱，通过灵敏度分析方法甄选出可优化对象，在保证整车性能的前提下，结合动载荷对其进行合理的拓扑优化，达到轻量化与可靠性兼顾的工程目标。 技术优势：（1）以理论分析和仿真代替经验设计，结果更具可靠性，适用范围更广。（2）研发周期短，研发经费少。 （3）同时兼顾车辆操纵稳定性，平顺性要求。 （4）节能减材。
南京工业大学
2021-04-13
机械产品（汽车零部件）高强度铝合金铸造成型关键工艺的仿真模拟技术
成果简介： 该项技术针对机械产品铸造工艺的分析与改进，采用FLOW-3D或MagmaSoft软件进行铸件铸造过程中的充型、凝固过程进行数值模拟，分析其温度场、流场、压力场、氧化物含量、充填顺序以及缺陷分布等的变化情况，预测铸件的质量，掌握初期设计潜在的问题点，为初始设计阶段的模具设计、铸造工艺参数的制定与修改提供依据。
南京工业大学
2021-01-12
工业和信息化部等七部门关于推动未来产业创新发展的实施意见
未来产业由前沿技术驱动，当前处于孕育萌发阶段或产业化初期，是具有显著战略性、引领性、颠覆性和不确定性的前瞻性新兴产业。大力发展未来产业，是引领科技进步、带动产业升级、培育新质生产力的战略选择。
工业和信息化部
2024-01-29
【中国青年报】吉林省AI赋能职业教育创新发展联盟成立
5月23日下午，吉林省AI赋能职业教育创新发展联盟成立揭牌仪式在长春举行。
中国青年报
2025-05-24
基于超音速热喷涂技术的装备关键零部件表面耐磨耐蚀涂层
许多工业设备往往因为某个关键零部件表面的损坏，导致整个系统效能大幅度降低甚至报废，造成极大地浪费。综合应用先进的表面涂层技术，不仅可以极大延长装备关键零部件的寿命，提高产品质量，甚至可以修复已损坏的关键零部件，实现装备的再制造，达到节能、减排、降耗、环保之目的。 热喷涂技术可使工件表面获得不同于基体材料的特性，具备更优良的强度、硬度、耐磨、耐蚀、耐热、绝缘、导电、密封、抗氧化、隔热、消毒、防微波辐射以及其它各种特殊物理化学性能。它不仅可以再制造修复关键零部件，使报废的零部件
华南理工大学
2021-04-14
第四届新时代“数字思政”创新发展论坛在青岛举办
10月12日，第四届新时代“数字思政”创新发展论坛在青岛举办。
中国高等教育学会
2023-10-27
引领科技创新发展的“中国力量”
如何发挥高校的综合优势，打造国家战略科技力量，助力国家高水平科技自立自强?
科技日报
2022-10-20
《人形机器人创新发展指导意见》解读
《指导意见》按照谋划三年、展望五年的时间安排做了战略部署。
科技司
2023-11-04
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技术
对于大型或超大型零部件，如大型箱体类零件上，常有轴承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技术区别于传统的加工方法，利用特有的等分定位技术和车间现场条件，可方便地确定孔的对称位置和关联面间的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技术 + 特殊的定位处理技术
北京科技大学
2021-04-11