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硅单晶碱性抛光液及清洗液
一、 项目简介“硅单晶碱性抛光液及清洗液”项目,始自七十年代中期,不断对产品研发与升级。FA/O硅单晶碱性抛光液,具有较高的抛光速率,能有效去除衬底表面损伤层,表面微粗糙度较低,可解决衬底片结底不平引起的噪声增加、漏电流增大,实现了表面高完美性,提高了衬底片器件区的可靠性与衬底片良品率。FA/O硅单晶清洗液,采取特有的物理优先吸附,有效去除抛光片表面颗粒物、有机物沾污,清洗后衬底片表面重金属离子降至ppm级,达到了易清洗、高洁净。二、 项目技术成熟程度该项目的研发、应用,满足了硅单晶衬底片加工高去除速率、低表面粗糙度、高表面完美性、易清洗、高表面洁净、高可靠性等指标的工业要求。自1994年至今,产品已累积销售一千多吨,性能稳定、质量可靠。三、 技术指标(包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况)抛光液抛光速率1.2-1.5um/min,粗糙度达A级。清洗剂可达到微电子的需求。研发的抛光液获国家1983年发明四等奖、1990年发明三等奖、清洗技术获1999年国家三等奖。抛光液、抛光清洗液列为国家级科技成果重点推广计划,列为国家重点新产品。申请专利授权中3项,授权6项。四、 市场前景(应用领域、市场分析等)据统计,仅中国(含台湾地区)硅单晶抛光液的年需求额40多亿元。FA/O硅单晶碱性抛光液,广泛用于硅分立器件、功率器件与集成电路衬底片加工。已多年供应国内华润华晶、洛阳鼎晶、深圳深爱等多家知名企业,被指定唯一用于国家航天神五至神十专用集成电路高可靠衬底抛光片加工,具有广泛的市场应用前景。FA/O硅单晶清洗液,广泛用于要求易清洗、高洁净的硅衬底片清洗。已被中科晶电信息材料有限公司等多家知名企业应用,市场应用前景广泛。五、 规模与投资需求(资金需求、场地规模、人员等需求)年产量5000吨的生产规模投资为约3000万元,需千级以上超净化厂房。可依产能需求调整资金投入。产品生产控制节点少,操作人员需求少,适于自动化生产。六、 生产设备低压真空系统、百级超净车间、去离子水系统等。七、 效益分析生产工艺与操作简单、成本低、环保性好,效益较高。八、 合作方式主要采取合作生产、代理代销,可提供技术支持与培训,或面谈。九、 项目具体联系人及联系方式(包括电子邮箱)项目联系人:刘玉岭 联系电话:022-60204128Email:liuyl@jingling.com十、 高清成果图片2-3张
河北工业大学 2021-04-11
面整体光固化快速成型方法及装置
面整体光固化快速成型加工方式是把实体的截面层信息利用LED光源组转化成对应的光学图像照射光敏树脂实现光固化快速成型加工。实现本加工方式的光学系统包括:LED光源组、传导光纤、自聚焦纤维透镜组、自聚焦显微透镜固定盘、成像透镜。自聚焦显微透镜固定在自聚焦显微透镜固定盘上,自聚焦纤维透镜固定盘在成像透镜上方。本发明具有实体成型加工效率高、实体成型质量好、设备结构简单、成本低、寿命长等优点。
西安科技大学 2021-04-11
生物降解及保健型口香糖
研发阶段/n目前国内外口香糖胶基大多数为橡胶材料和树脂胶基。这类胶基废弃之后具有很强的粘性,难以从地面、桌椅或其他公共场所、公共设施上清除,而且在自然界中难以降解(100年以上才能降解),因而产生一系列的环境污染。据媒体报道:2002年国庆节期间,北京市环卫局不得不出动十几万人次的清洁工,花费一周时间集中"清剿"天安门广场上的六十多万个口香糖残迹(据估计,清除一个口香糖残迹就要耗费一块多钱)。由此可见,如何有效地解决口香糖的污染问题已成为各级政府部门急需解决的一个难题。因此,需要研制一种废弃以后,能
华中农业大学 2021-01-12
粒子束激发磁光谱-测试服务及设备
可以量产/n该项目来源于国家自然科学基金、科技部对俄合作专项、一带一路专项。目前测试服务用户40 多个,来自国内20 个省市、国外个别单位。投产后年产值可达600-800 万元,净利润150-200 万元。主要技术指标:(1)紫外磁光谱:提供紫外偏振光谱、磁圆二向色性、磁圆偏振荧光谱测试服务,磁场1.5T,温度12-300K,波长380-980nm。设备为自研,可生产紫外磁光谱仪。(2)深紫外磁光谱:研发100-300nm
武汉大学 2021-01-12
变轴数控机床及并联机构应用
Ø  成果简介:变轴数控机床(也称虚拟轴机床或并联机床)是基于构造上新构思、刀具运动的新原理、数学运算的新方法提出的。该数控机床主要应用并联空间机构作为机床的主体机构。在运动学原理上或结构上皆迥然不同于传统数控机床。其特点是将机械的简单性与数学的复杂性融为一体的高技术设备。基于并联机构的变轴数控机床重量轻,刚度大、精度高,刀具具有六个运动自由度。突破了机械结构设计对传统工艺依赖的限制,可解决尖端装备中复杂曲面、复杂几何形状零件以及复杂模具精密加工任务,为先进制造技术的发展提供一种
北京理工大学 2021-01-12
低地板轻轨车牵引及辅助变流系统
简述:“十一五”国家科技支撑计划重点项目“ 100% 低地板轻轨车研制 ” 最新科技成果,由北京交通大学联合长春轨道客车股份有限公司、北京千驷驭电气有限公司等单位研制生产,拥有完全自主知识产权,采用矢量控制、防滑 / 防空转、零速停车、网络监测及故障诊断、数字高频控制等先进技术,具有结构紧凑、模块化、轻量化、低噪声、人性化等特点。装备该系统的我国首列 100% 低地板车已在长春轻轨进入试运营阶段。
北京交通大学 2021-04-13
LMS 数控车、铣床编程及动态摸拟软件
运用该软件,可在计算机上练习数控车、铣床编程并动态摸拟加工过程。通过练习,使 用户对数控编程的概念,怎样进行数控编程,怎样实现数控程序的输入、修改、存储以及数 控程序的执行效果等均有深入的了解。 该软件所用代码符合国际标准,图形显示方式丰富。铣床摸拟系统可实现三轴联动和三 维显示。除可实现按轨迹加工、(车床)螺纹加工的摸拟以及(铣床)刀具补偿功能外,还 可摸拟实现参数设置、连续执行、单段执行、点动、暂停等机床操作功能。 经模拟正确的数控程序可直接用于数控车、铣床的加工。
南京工程学院 2021-04-13
卧式滚筒型电动土筛及筛土方法
本发明公开了一种卧式滚筒型电动土筛及筛土方法。电动土筛,包括分离装置,筛网,筛网固定盘和电机;筛网固定盘固定于电机上,并由电机驱动旋转;筛网呈圆筒状,且一个端面未封闭并可拆卸式固定于筛网固定盘上;筛网外侧嵌套有一端未封闭的圆筒状筛网套;分离装置由圆筒和下部梯形承载组成,圆筒一端未封闭,另一端铰接有圆筒门;圆筒内两侧有两个斜坡,斜坡底部设置可拆卸式的集土槽,用于收集由于重力下落的土壤;圆筒未封闭的一端可拆卸式密闭固定于电机上,筛网设置于圆筒内部。与现有技术中的平面筛网相比,卧式滚筒型电动土筛能使土壤颗粒不断地滚动至新的筛网区域,从而有效地避免土壤颗粒的堵塞。
浙江大学 2021-04-13
等分分度装置及对称加工工作台
本项目是2001年授权的国家发明专利。 1、等分分度装置:在工厂中工作台最常用的分度角度为180°,90°,45°,30°等,用以保证零件孔加工的同轴度(如掉头镗孔)垂直度,平面间的平行度,垂直度以及键槽加工的对称度,孔面间的角度公差等,具有高定位精度的机床如坐标镗床,加工中心等的分度工作台在这些等分角度,特别是在2×180°,4×90°位置的定位精度一般都比其他位置的定位精度要高,且直径稍大(如1m)并在2×180°,4×90°位置达到秒级(5″左右)的工作转台价格十分昂贵。 本技术从原理上区别于传统的分度方法,它是利用多个小范围高精度传感器进行分度定位,其定位精度仅取决于小范围高精度传感器的精度,即本技术是将小范围测量的高精度沿展至整个大范围测量,从而使分度系统的绝对测量精度得以极大地提高,此外分度装置装置还有如下特点: 1)可在现有的分度转台上进行方便的改造,并可进行分度精度的系列升级。 2)无零漂问题。因为传感器所在的任何位置均可作为起始零点,对传感器而言没有回零问题,故测量装置无零漂问题。 3)温度等因素的影响微乎其微。 4)不需象其它分度转台那样进行定期调整。2、对称加工工作台:在工厂中,孔﹑平面及键槽加工的对称度等位置精度有时要求很高,往往要在具有高位置精度的机床如坐标镗床,加工中心及专用机床上进行加工,成本一般较高,若能在现有的加工条件下对工作台进行适当的改造,来达到以往要靠在具有高位置精度的机床上才能达到的精度要求,就会有可观的效益。基于等分分度新技术及特殊的对称处理新技术而发明的对称加工工作台恰好可以满足这种需求。
北京科技大学 2021-04-13
快速响应客户的产品配置设计及管理平台
将大批量定制的先进理念与企业的实际需求结合起来,开发和实施“快速响应客户的产品配置设计及管理平台”。通过进行产品个性化配置设计,以满足不断变化的客户需求,并标示出近似的以前设计过的定制零部件以及需要重新设计的部件,加快定制产品的开发进度,缩短了产品设计周期。通过产品配置设计把产品定义的全部数据,包括几何信息、分析结果、技术说明、工艺文件、合同订单和质量文件等,都与产品结构建立了联系,使用户能够很方便地知道某一项变化所造成的影响, 实现公司销售、设计、生产及管理等信息的集成与共享。
北京航空航天大学 2021-04-13
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