“虚拟工艺”软件可由标准工艺流程文件和掩膜版图文件，模拟出所要加工的MEMS器件的真实三维结构，具有良好的通用性和精度。下图为自主开发的“虚拟工艺”软件生成的微夹钳三维结构。 “虚拟运行”软件对器件的运动情况进行仿真，并与最初设计方案比较来指导和修正实际加工。下图显示了微夹钳的虚拟运行结果，图中的器件颜色表示了器件运动时的剧烈程度，红色表示变形最剧烈的部分，淡蓝色表示变形较小的部分。

项目的背景及目的 迄今为止，集成电路的模拟、仿真直至评测已有了非常完善的工具软件；并已成为设计过程的重要组成部分；对设计的成功、可靠、高效都已起到决定性作用。而对MEMS而言，还相差甚远，这和MEMS发展的成熟程度有着直接关系。当然，这并不意味着MEMS不需要这样的工具和系统。相反，由于MEMS的功能多样、加工复杂、分析困难、设计周期长、成本高等。特别需要一个能包括运动仿真、评测在内的设计工具和系统。这是当前推动MEMS发展的当务之急。

可以量产/n华大麦8号选自复合杂交组合(川农大2号×甘木二条）×（美里黄金×浙农大3号），用系谱法育成。该品种为二棱皮大麦，苗期叶片浅绿色，半匍匐，分蘖力强，成穗率较高，成株蜡粉少，株型紧凑，剑叶中等大小，长芒，齿芒，穗纺锤形。其光合效率中等，对酸性较敏感。株高90厘米，全生育期182.2天，穗层整齐度和熟相好。亩穗数40.2万/亩，穗长8厘米左右，小穗密度中，主穗小穗数32个左右，穗平实粒数24.8粒，千粒重42.34克。由湖北省种子站取样送验，中国食品发酵工业研究院检测，华大麦8号千粒重为43克

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本项工作通过在线工艺参数、力能参数及轧制温度的综合测试和试验，找出了轧件扣头生成的主要原因。摸清了形成扣头的条件和下扣变形的规律，首次提出了轧件扣头与上下辊之间力矩不无均匀分配、轧制线高度、辊径差之间的定量关系。上述成果填补了轧制理论中的空白，对完善轧机设计和控制理论具有重要意义。为控制轧件扣头的措施的提出和实施提供了科学依据。 基于上述理论提出了控制轧件扣头问题的技术措施方法。该方法在不改变钢坯加热条件的前提下，通过适当调配轧制制线高度，并匹配轧机的压下量和辊径差等参数即可控制轧件扣头问题。 这一方法不需增加设备投入，即可基本消除轧件扣头现象，并将上下辊力矩不均控制在10%以内。该成果曾通过湖北省技术鉴定，被评定为国际领先水平，并获得武汉市成果二等奖。自1996年4月起此项成果已成功应用于生产。

针对目前市场上对厚型中密度纤维板产品的需求，本项成果发明了喷蒸——真空热压制造厚型中密度纤维板的技术。其特点在于：产品密度在450～880kg/m3范围，厚度在25～60mm之间或更大厚度；热压时间大幅度缩短，是常规热压时间的1/6~1/4；产品断面密度分布均匀，内结合强度显著提高；毛板表面预固化层减小；对降低产品游离甲醛释放量有一定效果。产品可用于家具制造、建筑等行业。该项成果拥有1项发明专利，先后通过了国家林业局和江苏省科技厅技术鉴定，已推广建成2条工业化生产线。

技术创新性和领先性 （1）构建了基于元胞自动机方法的蚀刻模型，并结合浸没蚀刻和喷淋蚀刻 实验，揭示了蚀刻时间、蚀刻液成分及浓度、温度、线宽等因素对印刷电路板换 热器换热板蚀刻速率、侧蚀、表面粗糙度等蚀刻质量和表面形貌的影响机理，建 立了在特定蚀刻液下蚀刻速率随各因素变化的半经验公式，掌握了可控的印刷电 路板换热器换热板蚀刻工艺。 （2）构建了基于分子动力学方法的扩散焊接模型，并结合宏观扩散焊接和 拉伸实验，揭示了压力、温度和表面粗糙度等参数对印刷电路板换热器模块的扩 散层厚度、焊接强度的影响机理，掌握了印刷电路板换热器换热芯体的扩散焊工 艺。 （3）研究了印刷电路板换热器内超临界二氧化碳、高温氦气等介质的传热 和阻力特性，掌握了印刷电路板式换热器的热力设计和结构设计方法，具备自主 研发新型高效印刷电路板换热器的能力。 图 1 多种结构的印刷电路板换热器换热板 图 2 扩散焊获得的印刷电路板换热器芯体和焊缝金相组织 （2）技术成熟度 相关成果荣获 2016 年舰船热能动力技术学术会议优秀论文二等奖、2015 年 第三届节能控排传热进展国际会议最佳论文奖和 2015 年中国工程热物理学会传

一、 项目简介通过化学发泡技术，制备出孔隙率超过80%的水泥基保温材料。具有以下特点：（1）A级不燃，防火性能好。（2）粘结力强，与建筑主体材料相容性好，粘接牢固。（3）高耐久，不老化，与建筑物主体同寿命。（4）绿色环保、无毒、无污染、无公害，高温下不燃烧且不会释放有毒气体。（6）可与装饰层复合，一次施工即可完成保温和装饰。（6）性价比高，经济适用。二、 项目技术成熟程度项目技术成熟、产品性能稳定、技术指标满足应用要求。三、 技术指标（包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况）导热系数：0.06W/(mC)容  重：200kg/m3。河北省教育厅自然科学基金项目成果。四、 市场前景（应用领域、市场分析等）保温性能是建筑节能技术的核心，当前我国大量应用的聚苯乙烯、聚氨酯等建筑保温材料。虽然聚苯乙烯和聚氨酯保温性能好、质量轻，但防火性能差，存在安全隐患，已导致多起重大火灾事故；而且，聚苯乙烯容易老化，燃烧时释放出有毒气体，甚至可能造成火灾后建筑物内人员中毒致命。A级不燃超高孔隙水泥保温板防火性能好、无毒无害、造价低，具有广阔的市场前景。五、 规模与投资需求（资金需求、场地规模、人员等需求）资金需求：50万元人民币。场地规模：300m2标准厂房。人员需求：20人。六、 效益分析初期年产20000m3A级不燃超高孔隙水泥保温板，产值1500万元左右，效益300万元以上。七、 合作方式校企合作八、 项目具体联系人及联系方式（包括电子邮箱） 联 系 人：慕儒，电话：13612151078，邮箱：rmu@hebut.edu.cn联系地址：河北工业大学土木工程学院