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新型
FinFET
器件工艺
已有样品/n全金属化源漏FOI FinFET 相比类似工艺的常规FinFET 漏电降低1 个数量级,驱动电流增大2 倍,驱动性能在低电源电压下达到国际先进水平。由于替代了传统的源漏SiGe 外延技术,与极小pitch 的大规模FinFET 器件的兼容性更好,有助于降低制造成本,提高良品率,具有很高的技术价值。
中国科学院大学
2021-01-12
阻变存储器与铁电
FinFET
已有样品/n基于HZO铁电FinFET的混合存储器件。该器件在电荷俘获模式下,表现出高耐 久性(>1012),高操作速度(<20ns),良好的数据保持特性(104@85oC),与DRAM 的性能相近,为在SOC芯片及CPU芯片中集成嵌入式DRAM提供了可能。当器件工作在 电筹翻转模式下的时候,器件表现出非常好的数据保持特性(>10年)以及对读取 信号串扰的免疫能力,使该器件同时具有优越的不挥发存储特性。
中国科学院大学
2021-01-12
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