高档超精密磨床及LED划片装备
为满足光电通讯、光学、信息等产业中小口径非球面光学玻璃透镜模具产业化的需求,研制了小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,具备纳米级精度斜轴镜面纳米磨削、斜轴磁流变研抛、在线测量补偿加工等功能,为小口径非球面光学透镜模具的产业化制造提供可靠的装备支撑。分辨率10nm,主轴回转精度50nm;加工对象为微小非球面透镜及模具;加工口径10mm以下;加工面形状精度:PV小于300nm ,工件表面粗糙度小于Ra10nm。应用领域包括集成电路(IC)、发光二极管(LED)、光学光电、MEMS、NTC、塑封件(QFN、BGA)、电子陶瓷、通讯、医疗器械等,能切割硅晶圆、砷化镓、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、铌酸锂、氧化铝、蓝宝石等。GUI交互界面。具备接触式测高及非接触式测高,刀痕检测,具有切割深度自动补偿,刀片破损补偿功能,能保证切割质量。
湖南大学
2021-04-11