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新型气敏材料及MEMS气敏器件的研究
复旦大学微电子学院教授卢红亮团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺，在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料，并以此作为气体传感器，对浓度低至1 ppm的硫化氢实
复旦大学
2021-01-12
一种 MEMS 器件的封装方法
本发明公开了一种 MEMS 器件的封装方法，包括 S1 在框架基 板与封盖的内表面上对称附着图形化的过渡金属化层和钎料层；S2 在 框架基板的钎料层上附着图形化的自蔓延多层膜；S3 将芯片键合固定 在框架基板上并实现信号互连；S4 将固定有芯片的框架基板与封盖进 行除气除湿处理后对准堆叠形成封装结构；S5 对封装结构施加压力、 预热后引燃自蔓延多层膜，自蔓延多层膜燃烧并熔化钎料层实现冶金 互连。本发明将封盖直接与框架
华中科技大学
2021-04-14
具有自动防污功能的气敏报警器
本实用新型涉新颖性、创造性在于研发了具有自动防污功能的气敏报警装置.属于电子技术领域. 气敏传感器容易污损，导致工作不正常.它包括以下部分：分别是第1分隔舱、第2分隔舱、单片机控制部分、步进电机、遮污片. 第1分隔舱由污损检测传感器部分和气敏传感器组成. 污损检测传感器由检测外界光环境的光敏传感器、污损传感器组成.其中污损传感器由光线导筒、污损光敏传感器、标定调节螺栓组成.当单片机检测外界光环境的光敏传感器检测到光线而污损传感器由于光线导筒被油污堵塞光线无法通过，此时单片机软件可以判断出光线导筒被油污堵塞， 第2分隔舱开始工作. 其有益效果是，可自动更换气敏传感器，从而确保安全。
东北师范大学
2021-04-29
氧化石墨烯敏化半导体气敏材料及其特异性检测
氧化石墨烯具有独特的二维结构、丰富的表面官能团及 P 型半导体性质。通 过氧化石墨烯与 ZnO 纳米片及 SnO2 纳米纤维进行复合，大幅度提升了其对丙酮、 甲醛等特异性气体检测。其敏感性能的提升归因于氧化石墨烯和半导体材料二者 的协同效应。相关研究解决了现有技术中的半导体气体传感器检测限和选择性较 低的问题。
上海理工大学
2021-01-12
有机气敏薄膜生长调控与敏感机理研究
本项目属复合材料与传感器研究领域。主要针对气体传感器特异性响应与识别机理、气体信息与电信号转换机制以及薄膜表面/界面效应等基础科学问题开展了深入研究，提出并发展了有机纳米复合气敏材料新领域，为有机/无机纳米薄膜组装与结构调控提供了新途径，同时建立了传感器微观响应模型，对发展新型复合薄膜气体传感器具有重要的科学意义。发表SCI论文71篇，SCI他引905次，均为正面引用，研究成果受到敏感材料与传感器领域研究者的广泛关注与认可。本项目申请国家发明专利49项，授权29项，研制出了灵敏度高、响应快（<
电子科技大学
2021-04-14
基于气敏元件的高炉冷却壁检漏仪
成果简介1、 基于 CO 气体传感器的检漏仪检漏原理： 当高炉冷却壁烧损时， 控水减压后炉内气体（含 CO） 将进入冷却水中， 利用气水分离原理收集水中 CO 气体， 采用 MGS1100 型 CO 气体传感器检测 CO 浓度值， 经相关比对处理后显示并报警。 MGS1100 是基于半导体工艺生产的气敏元件， 对 CO 气体高度敏感。 只要能收集到少量的气体即可检测是否含一氧化碳。 采用 CO 传感器检漏的方法， 可以迅速、 准确的判断冷却壁是否破损，以便采取有效措施及时
安徽工业大学
2021-04-14
基于IP库的通用MEMS器件可视化仿真与验证工具
“虚拟工艺”软件可由标准工艺流程文件和掩膜版图文件，模拟出所要加工的MEMS器件的真实三维结构，具有良好的通用性和精度。下图为自主开发的“虚拟工艺”软件生成的微夹钳三维结构。 “虚拟运行”软件对器件的运动情况进行仿真，并与最初设计方案比较来指导和修正实际加工。下图显示了微夹钳的虚拟运行结果，图中的器件颜色表示了器件运动时的剧烈程度，红色表示变形最剧烈的部分，淡蓝色表示变形较小的部分。
南开大学
2021-04-14
基于IP库的通用MEMS器件可视化仿真与验证工具
项目的背景及目的 迄今为止，集成电路的模拟、仿真直至评测已有了非常完善的工具软件；并已成为设计过程的重要组成部分；对设计的成功、可靠、高效都已起到决定性作用。而对MEMS而言，还相差甚远，这和MEMS发展的成熟程度有着直接关系。当然，这并不意味着MEMS不需要这样的工具和系统。相反，由于MEMS的功能多样、加工复杂、分析困难、设计周期长、成本高等。特别需要一个能包括运动仿真、评测在内的设计工具和系统。这是当前推动MEMS发展的当务之急。
南开大学
2021-04-14
一种用于检测低浓度甲醛的气敏材料
（专利号：ZL 201410478925.7） 简介：本发明公开了一种用于检测低浓度甲醛的新型气敏材料，属于气敏材料技术领域。本发明以SnO为基料，通过水热反应法或溶剂热反应法(乙醇、甲醇作溶剂)在SnO中掺入In2O3和石墨烯，其中SnO与In2O3的摩尔比是8-10之间，掺入石墨烯的量为SnO和In2O3质量之和的0.08-0.15％。以该材料作为敏感材料制成的旁热式气敏传感器，在200℃工作温度下，对0.001ppm甲醛的灵敏度(空
安徽工业大学
2021-01-12
一种用于检测低浓度乙醛的气敏材料
（专利号：ZL 201410478950.5） 简介：本发明公开了一种对乙醛气体高灵敏度的新型气敏材料，属于气敏材料技术领域。本发明以SnO2为基料，通过溶剂热反应法(乙醇作溶剂)在SnO2中掺入Sb2O3和石墨烯，其中SnO2与Sb2O3的摩尔比是8‑10之间，掺入石墨烯的量为SnO2和Sb2O3质量之和的0.08‑1.0％。以该材料作为敏感材料制成的旁热式气敏传感器，在25℃工作温度下，对0.1ppm乙醛的灵敏度(空气中元件电阻与被测
安徽工业大学
2021-01-12