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非硅MEMS 技术及其应用
 1988年国际上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技术是将IC工艺和机电设计相结合制造微传感器、微执行器和微系统的新技术,也称硅MEMS。作为对硅MEMS的补充和发展,非硅材料种类繁多、性能各异,能满足不同应用领域的需求,我们在国家863 计划等项目支持下于九十年代初首先提出并创立了非硅MEMS技术。 提出非硅MEMS新概念和总体思路;开发了以金属基为主的多种材料兼容的非硅表面微加工、高深宽比三维微加工等成套非硅微加工技术,为非硅MEMS发展奠定了良好基础;把经典原理和非硅微加工结合,开发了一系列压电、静电、磁电、微流体、惯性等种类的微器件和微系统,形成若干具有完全知识产权的专利群;并将非硅MEMS应用于生物芯片、微引信、信息、光器件、复合膜模具、国防武器、非硅MEMS生产线等众多领域,取得了显著的经济、社会效益,推动和引领了我国非硅MEMS技术的应用和发展。  非硅MEMS技术及其应用获得国家技术发明二等奖2项(2008,2000),省部一等奖4项,获2009年中国工业博览会创新奖;授权发明专利200多项;出版MEMS专著6部。
上海交通大学 2021-04-13
一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备 方法。本发明采用氧化锡、氧化锌作为导电层,三氧化钨、二氧化钛、 氧化铜、氧化钴作为敏感层,同时采用钯、铂贵金属、硫化镉、锡化 镉敏化剂对敏感层进行修饰制备得到气敏传感器。本方法采用叠层的 形式将修饰后的气敏材料置于顶层,使其能与环境中的气氛进行充分 的反应,提高气敏传感器的响应度;将具有较好导电性能的材料置于 底层,使其将敏感层中电子浓度的变化迅速传递到外电路中
华中科技大学 2021-04-14
一种掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备方法
本发明公开了一种掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备方 法,适合锶、铈、钯等元素掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备。 本方法采用阳极氧化法制备纳米棒阵列模板,采用溶胶凝胶法在模板 上形成掺杂钴酸镧纳米棒,并采用晶种的方式将纳米棒与电极基板接 触。该方法可以完好的保留纳米棒的形貌,并能在室温下对一氧化碳 有较好的响应。采用该方法制备的室温一氧化碳传感器结构简单,性 能优异。
华中科技大学 2021-04-14
氨咖黄敏胶囊
【药品名称】 通用名称:氨咖黄敏胶囊 【成份】 本品为复方制剂,每粒含对乙酰氨基酚250毫克,咖啡因15毫克,马来酸氯苯那敏1毫克,人工牛黄10毫克。辅料为:淀粉、蔗糖、滑石粉、氢氧化铝、食用色素。 【性状】 本品为胶囊剂,内容物为着色颗粒和粉末。 【作用类别】 本品为感冒用药类非处方药药品。 【适应症】 适用于缓解普通感冒及流行性感冒引起的发热、头痛、四肢酸痛、打喷嚏、流鼻涕、鼻塞、咽痛等症状。 【用法用量】 口服。成人,一次1~2粒,一日3次。
广州白云山光华制药股份有限公司 2021-10-29
一种干式金属化膜电容器气敏保护装置和方法
本发明公开了一种金属化膜电容器保护装置和方法,干式金属 化膜电容器内部不灌封或采用灌封的干式结构,电容器顶部存在一定 高度的空隙。热传导型氢气传感器及其检测电路构成的气敏保护装置 安装于电容器顶部。当电容器内部元件出现击穿故障时,元件内部会 产生大量气体并逸出,该气体会最终汇聚到电容器顶部的空隙中。元 件产气中,经检测氢气体积约占 85%,因此,该产气会导致电容器顶 部空隙中氢气浓度的变化,从而导致检测电路输出信号的变化,实现 金属化膜电容器内部故障的检测。检测到故障信号后,可从外部切断 电容器电源
华中科技大学 2021-04-14
光学防抖MEMS驱动器
本发明公开了一种光学防抖MEMS驱动器.现有的光学防抖驱动器,最多仅具有五轴.本发明包括平面三轴驱动器和垂直三轴驱动器.所述的平面三轴驱动器包括第一框架,驱动臂和中间固定板.垂直三轴驱动器包括运动件和驱动件.运动件包括第二框架,第二悬臂,偏转盘,弹簧条,中心盘和第三接触点.多根第二悬臂的一端均与偏转盘连接,另一端均与第二框架连接.驱动件包括底盘和扇环状电极片组.扇环状电极片组包括n片扇环状电极片.n片扇环状电极片均固定在底板上.扇环状电极片组与偏转盘对齐.本发明可实现使图像传感器在平面三轴及竖直三轴上运动,解决由于相机抖动带来的图像模糊问题.
杭州电子科技大学 2021-05-06
柔性储能器件及传感器件
利于层状纳米材料比表面积大的特点,在碳基柔性衬底上制备了高性能柔性 超级电容器,及葡萄糖传感器。超级电容器的能量密度最大为50.2Whkg-1,功 率密度为8002 W kg-1 at 17.6 Wh kg-1,充电1分钟能点亮两只绿色LED灯3 到5分钟。性能处于国际先进水平,成果先后发表于JALC0M , 714(2017) 63-70; 763 (2018) 926-934 等。
重庆大学 2021-04-11
热压敏染料的合成技术
结晶紫内酯(crystal violet lactone),简称CVL, 分子式为C26H29N3O2,化学名为3,3-双(4-二甲氨基苯基)-6-二甲氨基苯酞。 它是一种淡黄色至白色的粉末或晶体,在酸性条件下一旦遇到显色剂如萘酚、双酚A等受电子体而开环呈深蓝紫色。 结晶紫内酯是一种压热敏染料,具有的价格便宜、溶解性好、发色速度快、油色性好,无升华性等特点。它作为一种信息功能材料,不仅广泛应用于无碳复写纸,还广泛用于热压敏记录纸,如传真、计算机、心电图和分析仪器的记录纸、自动售票机的票证、电视画面的复印、压力测定、环境装饰材料等方面,是目前世界上应用最广、性能最好的热压敏染料。CVL还广泛用于生产可逆热色变材料,这些材料可用于染料印花、防伪涂料、防伪油墨等场合。
武汉工程大学 2021-04-11
超声、微波辅助水热合成氧化锌基的纳米复合颗粒用于气敏传感 器的应用
使用超声、微波辅助水热合成的方法制备出不同相貌的 ZnO、Cr@ZnO、CoO@ZnO 等纳米复合颗粒,通过复合和掺杂改性,分别构建 p-n 结和形成催化活 性位点,提高气敏性能。
上海理工大学 2021-01-12
新型谐振MEMS微惯性传感器
研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器,达到惯性级,在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比,该陀螺无运动部件,抗冲击性更好;同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式,极大的提升了其应用场合与范围。
上海交通大学 2021-04-10
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