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一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 气敏传感器
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所属领域:
资源与环境
项目成果/简介:

本发明公开了一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法。本发明采用氧化锡、氧化锌作为导电层,三氧化钨、二氧化钛、氧化铜、氧化钴作为敏感层,同时采用钯、铂贵金属、硫化镉、锡化镉敏化剂对敏感层进行修饰制备得到气敏传感器。本方法采用叠层的形式将修饰后的气敏材料置于顶层,使其能与环境中的气氛进行充分的反应,提高气敏传感器的响应度;

项目阶段:

试用

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