一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备方法

资源与环境

本发明公开了一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备

方法。本发明采用氧化锡、氧化锌作为导电层，三氧化钨、二氧化钛、

氧化铜、氧化钴作为敏感层，同时采用钯、铂贵金属、硫化镉、锡化

镉敏化剂对敏感层进行修饰制备得到气敏传感器。本方法采用叠层的

形式将修饰后的气敏材料置于顶层，使其能与环境中的气氛进行充分

的反应，提高气敏传感器的响应度；将具有较好导电性能的材料置于

底层，使其将敏感层中电子浓度的变化迅速传递到外电路中

试用