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MEMS 耐高温压力传感器及技术
该项目应用先进的MEMS技术，研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。该成果获得2006年度国家技术发明二等奖、2005年度教育部技术发明一等奖、2004年度陕西省科技进步一等奖和2004年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20余项。
西安交通大学
2021-04-11
全数字MEMS地震检波器技术研究
项目主要针对瑞雷波物探方法使用的动圈式检波器的缺点，开展全数字MEMS检波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究内容如下：（1）全数字MEMS检波器电路系统及硬件装置的研制；（2）针对所研制的检波器检测软件系统研制；（3）针对所研制的检波器对瑞雷波信号的振动模型研究；
重庆大学
2021-04-14
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器
基于石墨烯的 MEMS 压力传感器，属于微机电系统（MEMS）的压力检测器件，解决现有 MEMS 压力传感器尺寸较大，灵敏度有限的问题。本实用新型包括基底、绝缘层，所述基底表面氧化形成绝缘层，绝缘层内刻蚀出空腔，绝缘层上表面覆盖石墨烯薄膜，将所述空腔封闭，石墨烯薄膜为 1~5 层；所述石墨烯薄膜边缘沉积两个金属电极，两个金属电极上分别焊接有导线。本实用新型采用石墨烯薄膜构成 MEMS 压阻式压力传感器，制备方法简单，可靠性好，压力传感器体积更小，从微米尺度变为纳米尺度，灵敏度更高，在 1~5 层内增
华中科技大学
2021-04-14
基于体积图形学的MEMS工艺仿真系统
项目的背景及目的 本软件是MEMS器件的设计人员的辅助工具，通过该软件设计人员可以在实际生产之前提前预览到所设计器件的三维几何形状，如果不符合要求可以进行重新设计或者对原来设计进行修改。这样可以大大的降低设计的成本和时间，为MEMS设计人员提供较为感性的认识。 技术原理与工艺流程 基于体积图形学的MEMS工艺仿真系统需要结合体积图形学和专家系统以及物理模型，最终实现MEMS典型工艺的真实模
南开大学
2021-04-14
新型气敏材料及MEMS气敏器件的研究
复旦大学微电子学院教授卢红亮团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺，在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料，并以此作为气体传感器，对浓度低至1 ppm的硫化氢实
复旦大学
2021-01-12
光收发芯片
光收发芯片是光收发模块中的集成电路，并不包括激光芯片，是指光纤宽带网络物理层的主要基础芯片，包括跨阻放大器、限幅放大器、激光驱动器三种。它们被用于光纤传输的前端，来实现高速传输信号的光电、电光转换，这些功能被集成在光纤收发模块中。
东南大学
2021-04-11
芯片研发技术
围绕自主通用处理器，研发操作系统及其之上的核心 API 软件，支撑国家信息化建设，并致力于构建区别于 Wintel 和 AA 之外的世界第三套信息化生态体系 。
中国科学技术大学
2021-04-14
上海仪电科仪
上海仪电科仪
2022-05-26
一种基于 MEMS 的智能服装及其制作方法
本发明公开了一种基于 MEMS 的智能服装及其制备方法，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS 技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特
华中科技大学
2021-04-14
人体器官芯片
成果介绍人体器官芯片的成功研发将有力推动我国生物医疗用芯片制造技术的发展，建立全新的生命科学实验方法；能够有效减少新药研发等对动物和临床实验的依赖，加速新药研发的流程并减少研发投入技术创新点及参数微缩人工器官，以实现对人体器官功能的模拟。器官芯片高内涵装置的设计和制造，开发了标准芯片系统及器官特异性生物材料市场前景疾病模型，药物评估，个性化医疗。
东南大学
2021-04-13