高灵敏度有机污染检测用声表面波传感器
团队长期从事纳米材料及纳米结构研究,在长期纳米结构的制备及性能研究基础上,与我国XX工程结合,开展高功率固体激光装置运行环境污染检测方法研究,基于各种纳米结构制作的声表面波传感器检测灵敏度高达pg/mm2(10 12g/mm2)量级,实现了高精密测试,并且针对装置运行环境中不同有机污染物的复杂情况,实现了高选择性、高灵敏度测量,达到了国际领先水平。已通过在线测试并在XX工程中应用,实现订货。 同时在高灵敏度声表面波传感器的研究基础上,团队在声表面波传感器的敏感芯片区建立了不同的敏感薄膜,如氧化硅薄膜、氧化锌薄膜、SiO2/ZnO复合薄膜,实现了对环境污染气体的高灵敏度响应,特别是在声表面波传感器芯片上建立了三维纳米结构敏感材料,同时对其化学修饰,以实现化学、生物毒剂的高灵敏度监测,目前正在和中电集团进行相关的联合工作。 该传感器可用于定量检测/监测各种真空、实验室、大气环境中的微量有机污染物、化学毒剂和生物毒剂。
电子科技大学
2021-04-10