非硅MEMS 技术及其应用
1988年国际上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技术是将IC工艺和机电设计相结合制造微传感器、微执行器和微系统的新技术,也称硅MEMS。作为对硅MEMS的补充和发展,非硅材料种类繁多、性能各异,能满足不同应用领域的需求,我们在国家863 计划等项目支持下于九十年代初首先提出并创立了非硅MEMS技术。 提出非硅MEMS新概念和总体思路;开发了以金属基为主的多种材料兼容的非硅表面微加工、高深宽比三维微加工等成套非硅微加工技术,为非硅MEMS发展奠定了良好基础;把经典原理和非硅微加工结合,开发了一系列压电、静电、磁电、微流体、惯性等种类的微器件和微系统,形成若干具有完全知识产权的专利群;并将非硅MEMS应用于生物芯片、微引信、信息、光器件、复合膜模具、国防武器、非硅MEMS生产线等众多领域,取得了显著的经济、社会效益,推动和引领了我国非硅MEMS技术的应用和发展。 非硅MEMS技术及其应用获得国家技术发明二等奖2项(2008,2000),省部一等奖4项,获2009年中国工业博览会创新奖;授权发明专利200多项;出版MEMS专著6部。
上海交通大学
2021-04-13