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西北工业大学
西北工业大学 工业和信息化部
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西北工业大学六英寸双面光刻机项目

2022-09-06 16:56:10
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
招标单位:
西北工业大学
招标年份:
2022 年
所属地区:
陕西省西安市
招标类型:
产品招标
采购方式:
公开招标
项目概况:
项目基本情况:
项目编号:西工大招采(货)-2022-078号
项目名称:西北工业大学六英寸双面光刻机项目
预算金额:330 万元
采购需求:

项目概况: 六英寸双面光刻机主要用于微电子、MEMS微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光工艺,能够实现4英寸晶圆和6英寸晶圆的双面光刻,具有正面和背面掩膜对准功能,具有手动对准和全自动对准两种对准模式,具有软接触、硬接触、接近和真空四种模式的曝光功能,能实现亚微米分辨率光刻。

工期/供货期:自中标通知书发出之日起270日历天

合同履行期限:详见附件正文
申请人资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

《政府采购货物和服务项目管理办法》

3.本项目的特定资格要求:3.1投标人应具有独立法人资格,具备有效的企业法人营业执照(具有统一社会信用代码)。3.2投标人出具有效的法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书。3.3法定代表人身份证(正反面)和被授权人身份证(正反面)。3.4本项目不接受联合体投标。? 3.5投标人(及拟派项目负责人)无不良行为记录且当前招投标资格状态有效,相关信息查询以政府诚信平台和学校不良行为记录为准,其中政府诚信平台是指信用中国、国家企业信用信息公示系统。

获取招标文件:
时间:2022年09月07日 至 2022年09月14日,每天上午8:00至14:00,下午12:00至21:00。(北京时间,法定节假日除外)
地点:详见附件正文
方式:详见附件正文
售价:300 元
提交投标文件截止时间、开标时间和地点:
截止时间:2022-10-09 09:00
开标时间:2022-10-09 09:00
地点:西北工业大学勇字楼120
公告期限:自本公告发布之日起5个工作日。
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