西北工业大学六英寸双面光刻机项目 招标项目的潜在投标人应在详见附件正文获取招标文件,并于2022年10月09日 09点00分(北京时间)前递交投标文件。
项目概况: 六英寸双面光刻机主要用于微电子、MEMS微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光工艺,能够实现4英寸晶圆和6英寸晶圆的双面光刻,具有正面和背面掩膜对准功能,具有手动对准和全自动对准两种对准模式,具有软接触、硬接触、接近和真空四种模式的曝光功能,能实现亚微米分辨率光刻。
工期/供货期:自中标通知书发出之日起270日历天
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
《政府采购货物和服务项目管理办法》
3.本项目的特定资格要求:3.1投标人应具有独立法人资格,具备有效的企业法人营业执照(具有统一社会信用代码)。3.2投标人出具有效的法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书。3.3法定代表人身份证(正反面)和被授权人身份证(正反面)。3.4本项目不接受联合体投标。? 3.5投标人(及拟派项目负责人)无不良行为记录且当前招投标资格状态有效,相关信息查询以政府诚信平台和学校不良行为记录为准,其中政府诚信平台是指信用中国、国家企业信用信息公示系统。
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