一种椭偏仪系统参数的优化方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待 优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵 W；然后计算椭偏仪系统矩阵 W 在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算 出每个椭偏仪系统参数下矩阵 W 条件数的最大值与最小值的差值，并 按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏 仪系统参数，重复 n 次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其 n 次优化后最小条件数值与第 n-1 次优化时矩阵 W 最小条件数值之间的 差值，当差值大小满足要求时，则认为第 n 次优化后的椭偏仪系统参 数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优 参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的 优化。 

试用