一种铣削加工振动位移高带宽补偿装置

先进制造与自动化

本发明公开了一种铣削加工振动位移高带宽补偿装置，属于铣 削技术领域，其包括用于支撑主轴的主轴支撑块，呈方框状的口字型 滑块以及敞口凹槽，该口字型滑块包围在主轴支撑块的周围，敞口凹 槽用于容置口字型滑块和主轴支撑块，主轴支撑块两个侧面分别通过 第一X轴音圈电机和第二X轴音圈电机与口字型滑块的与Y轴平行的 两个边的内壁相连接，敞口凹槽的与 X 轴平行的两个边的内壁分别通 过第一Y轴音圈电机和第二Y轴音圈电机与口字型滑块的与X轴平行 的两个边的外壁相连，敞口凹槽的底部安装有 Z 轴音圈电机和多个柔 性铰链支撑。本发明装置结构简单，布局合理，检测精度高，能同时 检测沿 X 轴、Y 轴以及 Z 轴的振动位移并进行补偿。 

未应用