一种原子力探针位姿调节装置

先进制造与自动化

本发明公开了一种原子力探针位姿调节装置,包括探针座，调节 机构和连接头。其中探针座用于原子力探针的安装固定；调节机构包 括由下至上的第一调节部件、第二调节部件、第三调节部件、第四调 节部件以及第五调节部件，分别用于原子力探针的里外水平偏摆、左 右水平、上下旋转、上下俯仰以及上下竖直位姿调节；连接头用于与 原子力探针测量系统的显微物镜相连。本发明能够实现原子力探针任 意姿态的细微调节，各个调节动作相互独立，互不影响，提高了探针 姿态的调节精度；且能够对调节后的位姿进行锁定，使其保持稳定， 进一步保证原子力探针测量系统的稳定性和精度。 

试用