一种快充气型微正压保护系统

先进制造与自动化

本发明公开了一种快充气型微正压保护系统，包括：经依次顺 序连接的第一开关阀 2、第一减压阀 3 和第二减压阀 4 分为两条支路， 其中，一条支路经第一流量计 5 与毛细管 6 一端相连，另一支路经第 二流量计 7 与第二开关阀 8 一端相连，毛细管 6 另一端和第二开关阀 8 另一端接过滤器 9 的一端，过滤器 9 另一端与目标腔体 10 一端相连， 目标腔体 10 另一端与节流部件 14 相连，其中，所述目标腔体 10 为密封腔体，其内壁上布置有测量腔内压力的压力传感器 11、用于测量腔 内气体纯度的成分检测仪 12、以及过压保护阀 13。本发明实现了微正 压保护系统初始化过程的快速充气功能，缩短了系统的初始化时间， 同时还保证目标腔体在工作过程中的微正压稳定。 

试用