一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置及方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种应用到光谱椭偏仪中的氙灯光线光强平滑处 理装置及方法。该光强平滑处理装置包括准直透镜、汇聚透镜和光阑， 准直透镜为消色差透镜，用于将待处理的氙灯光线准直为平行光束； 汇聚透镜为单透镜，用于将平行光束汇聚聚焦，汇聚后的光斑大小随 波长的增加而增大；光阑设置在汇聚透镜后并间隔一定波长焦距位置 处，通过设定该光阑的大小使紫外波段的光斑可透过该光阑而可见到 近红外波段的光斑被阻挡，从而减小可见到近红外波段的光束光强， 实现平滑。本发明还公开了一种氙灯光线光强平滑处理方法。本发明 没有损失任何波段的光线，探测器或者光谱仪可以正常响应全光谱范 围的光线，从而可以光谱椭偏仪从紫外到近红外全光谱范围内的高精 度测量。 

试用