一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。 装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增 量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情 况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱 仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度 滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大 小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响 应快速，操作简单。

试用