一种柔性超疏水超疏油结构制备方法

先进制造与自动化

本发明公开了一种柔性超疏水超疏油结构制备方法，该制备方 法包括如下步骤：(1)制作柔性超疏水超疏油结构底层：在基底上旋涂 一层负性光刻胶，不用掩膜进行曝光；(2)在步骤(1)曝光后的负性光刻 胶上旋涂一层负性光刻胶，利用阵列图形掩膜进行曝光；(3)结构层光 刻胶第二次曝光：采用跟步骤(2)对应的掩模进行套刻曝光；(4)显影： 将上述步骤中曝光后的结构进行显影；(5)镀保护层膜：在步骤(4)中得 到的结构表面形成一层保护膜；(6)剥离：将经过步骤(5)处理后得到的 结构从基底上剥离，得到所述柔性超疏水超疏油结构。按照本发明的 制备方法，工艺简单，成本低廉，对该柔性超疏水超疏油结构的普及 应用具有极大的促进作用。 

试用