本发明提供一种基于超精密球头铣刀加工的工件三维表面形貌建模及仿真方法,首先提取影响仿真三维表面形貌生成的刀位点,根据提取刀位点并结合刀具在加工过程中的运动学模型建立刀刃扫掠点云模型,然后设定仿真区域范围内三维表面形貌采样点,最终形成仿真区域内工件三维表面形貌。本发明建立了刀具参数、加工策略、加工参数与工件三维表面形貌的关系,能够清晰地表征超精密加工条件下的三维表面形貌,进而可实现基于工件三维表面形貌的工艺参数优化。