纳米结构光电器件

先进制造与自动化

中试阶段/n该项目是采用纳米级别的加工制造技术制作具备纳米级尺度并且带

有一定功能的光电子器件。纳米光电子器件的工作效率更快，能耗更低，

具备强大的信息储存量，且体积和重量明显的变小。随着光电器件在通

信、照明、传感器等领域上的运用，纳米光电器件的制备技术已经受到

越来越重要的关注。

该项目实现了一种低成本、大面积、易操作、高效的纳米结构制备

工艺方法，可实现在各种材料表面纳米结构（50-500nm 直径纳米孔、纳

小批量或小范围应用

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