一种可控大长径比纳米探针的制备装置与制备方法

电子信息

本发明提供一种可控大长径比纳米探针的制备装置，通过设置 腐蚀稳压电路、腐蚀电压切断电路、探针浸没判断电路，与单片机配 合实现对腐蚀过程中的腐蚀电压、探针浸没深度、探针提升速度等重 要参数的精确控制，能够制备大长径比、可控长径比、耐磨损、可回 收、成本低的纳米探针。本发明还提供一种可控大长径比纳米探针的 制备方法，采用探针浸入指定深度后不再停留腐蚀，而是一直不断提 起探针，从而形成针尖长、针尖曲率半径平滑变化、长径比大的新型 纳米探针，具有不易磨损、可回收再利用、使用成本低等显著优点， 并通过对腐蚀电

试用