一种炔醇类曼尼希碱缓蚀剂及其合成方法与应用

化学化工

本发明公开了一种炔醇类曼尼希碱缓蚀剂及其合成方法与应用，

其中该缓蚀剂的合成方法包括以下步骤：将丙炔醇、醛糖与脂肪胺类

化合物三者按(1～1.2)：(1～1.05)：(1～1.2)的物质的量的比混合得到

混合物，接着，将该混合物在 70℃～160℃下加热回流处理 4h～8h，

即得到炔醇类曼尼希碱缓蚀剂产物。本发明通过对该缓蚀剂关键合成

方法的原料、配比、工艺步骤等进行改进，与现有技术相比，制备得

到的缓蚀剂无毒、环

未应用