一种精密主动减振装置

其它领域

本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压电块可以采用垂直布置，也可以采用 45 度倾斜布置，采用倾斜布置的压电块结构可以同时测量和抑制水平向振动和垂向振动。另外，一种实现水平面隔振的减振装置可以提供 360 度水平面的振动隔离，其内部采用线切割加工出螺旋线形槽。水平面隔振减振装置与垂向精密主动减振装置结

未应用