超净高纯微电子化学品制备技术

新材料及其应用

微电子化学品是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要

用于半导体制造过程，用以冲洗晶片及制作研磨剂、蚀刻剂和光刻胶去除剂等。本项目采用吸

附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯电子化学品制备技术，成功制备了超大规模集成

电路用超净高纯过氧化氢等微电子化学品，产品性能达到超净高纯级过氧化氢（SEMI-C12，

金属离子杂质低于0.1ppb）。“耐高浓度双氧水膜及其双氧水纯化装置的开发”上海市科学技术

委员会2003年鉴定，达国际先进水平；“ULSI用超纯氨水和超纯硝酸试剂纯化的研究”上海市

科学技术委员会2006年鉴定，达国际先进水平；“863”计划项目1项“ULSI超纯试剂制备工艺研

究子项目年产500吨超净高纯过氧化氢连续制备试验的技术开发”（编号：2002AA3Z1310）通

过专家验收；发明专利一项。

产业化应用