大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛光加工装置

先进制造与自动化

本发明涉及一种大型复杂金属表面等离子体与脉冲放电复合抛

光加工装置，目的是解决常规金属表面精密加工和抛光方法的不足及

加工和抛光效率低、易产生加工应力和表层损伤等问题。该装置包括

射频电源、射频电源匹配器、高压直流脉冲电源、脉冲电源极性调节

装置、高压直流脉冲电源阻抗、等离子体炬、加工保护罩、控制电路

和联动机构；本发明是在大气压下对金属的表面的精密加工和抛光，

不需要真空室和特制的抛光液，可降低设备成本并扩大其使用范围。

加工效率是传统抛光方法的几倍，并且是无应力加工，无表面和亚表

层损伤、无表面污染，抛光工件的表面粗糙度可达到 Ra-0.2μm。 

未应用