一种微向下提拉晶体生长炉

其它领域

本发明公开了一种微向下提拉晶体生长炉，包括自上而下设置

的上部绝热层和底部绝热层(13)，底部绝热层(13)内还设置有观察孔

(4)，观察孔(4)呈管状，其中心轴线与底部绝热层(13)顶表面的法线的

夹角为 45°～60°；内层绝热层、中间绝热层和底部绝热层(13)均由

质量比为 1:9 的氧化锆和氧化铝压制煅烧而成。本发明设置的观察窗

口能够及时观察晶体生长界面的晶体生长状况；并且，该观察窗口对

晶体生长炉的温度场影响小，能够

试用