一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法

资源与环境

本发明公开了一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法。

采用无电极式设计，利用灵敏度高、导电性能好的胶态纳米晶复合材

料制作气敏层，将其于室温下涂覆在绝缘衬底上形成器件，无需使用

额外的信号电极，器件结构和工艺步骤简单，且利于降低成本，适于

批量生产，而且适于制作成柔性气体传感器。本发明的气体传感器具

有轻、薄、短、小和便携性好的特点，而且工作温度低，具有良好的

应用前景。

试用