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一种二维纳米 SnSe2 晶体材料的制备方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: SnSe2晶体材料
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明公开了一种二维纳米 SnSe2 晶体材料的制备方法,采用

化学气相沉积法用单质硒和卤化锡在衬底上沉积所需厚度的 SnSe2 晶

体;其中,沉积设备为水平管式炉,顺序设有上游低温区、中心温区

以及下游低温区,所述单质硒和卤化锡分别独立但紧靠放置于上游低

温区,所述衬底放置于下游低温区;利用不同温区的温度差,单质硒

蒸汽和卤化锡蒸汽形成于上游低温区;两者反应生成 SnSe2,并通过

沉积载气带入下游温区,在衬底上沉

项目阶段:
未应用
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