一种提高二氧化钛光激发气敏性能的方法及装置

先进制造与自动化

本发明公开了一种提高二氧化钛光激发气敏性能的方法及装置，

该方法是在光气敏传感器工作过程中，通过对材料薄膜进行加热调控

（50℃-70℃），使气敏材料表面物理吸附水减少，从而对环境湿度不

敏感；其次，表面保留的化学吸附水在紫外光照下产生的自由羟基，

以及由低温加热下产生少量热激发诱导的光、热联合激发的协同效应，

可大幅度提高其响应恢复速度。装置包括材料基片、光激发源、光激

发控制模块、温度控制模块、信号调理模块、计算

未应用