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一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： 晶体生长炉
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所属领域:
新能源与节能环保
项目成果/简介:

本发明公开了一种热场协调控制的提拉法晶体生长炉，包括绝

热外壳及设置在绝热外壳内的生长室，生长室设置有坩埚，绝热外壳

的外部设置有用于对坩埚进行加热的主电磁感应线圈，主电磁感应线

圈的下方设置有副电磁感应线圈，主电磁感应线圈和副电磁感应线圈

之间存在间距，有多根底部进气管和多根中部进气管平行伸入绝热外

壳内，绝热外壳的顶部设置有气流出口，气流出口作为籽晶杆移动通

道，绝热外壳内设置有用于削弱辐射传热的可伸缩遮热板和用于调整

项目阶段:
试用
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