一种用于 MOCVD 设备的喷淋头,属于气体喷淋装置,解决现有喷淋头存在的原料气体不能均匀混合的问题,同时减少在喷淋头顶部出现沉积堵塞喷口的问题。本发明包括底座、下隔板、上隔板、顶盖和中心导管,顶盖和底盖之间被隔成上层气腔、中间气腔和底层腔体;多根上层气管平行穿过上隔板、下隔板和底盖,多根下层气管平行穿过下隔板和底盖,各上层气管和下层气管下端分别装设有长喷嘴和短喷嘴;长喷嘴和短喷嘴在底盖下表面交错均匀排列。本发明通过